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分子束外延系统
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科研仪器设备
中科艾科米 公司简介 中科艾科米（北京）科技有限公司坐落于北京怀柔科学城公司致力于纳米材料表征、纳米材料制备技术的研发；核心团队来自于中科院，团队在相关领域的科学研究及科研仪器设备的研制方面具有十多年的技术积累和扎实的基础，掌握目标仪器装备的多项核心技术，具有自主知识产权。主要产品包括超高真空变温扫描探针显微镜系统（UHV-VT-SPM SYSTEM）、原子层沉积系统（ALD SYSTEM）、光学兼容超高真空低温扫描探针显微镜-分子束外延联合系统（UHV-LT-SPM-MBE SYSTEM）、高通量激光分子束外延-低温扫描探针显微镜联合系统（Combi-LMBE-SPM SYSTEM）等成套系统以及K-cell蒸发源（Effusion Cell）及控制器、E-beam蒸发源及控制器、碱金属蒸发源、温度控制器、针尖腐蚀仪、SPM扫描探头等部件及电控单元。客户可以依照本身应用产品的需求，在中科艾科米选择订制适合的产品，可以达到应用产品的高效与高品质表现。中科艾科米将继续开发更多元应用的科学仪器产品，给客户提供各种合适的产品方案，共创双赢的未来！
详细信息
主要特点 / MAIN FEATURE
主要特点 / MAIN FEATURE
●结构紧凑、操作简单、节约成本
●结构紧凑、操作简单、节约成本
产品应用 / APPLICATIONS
● 表面科学，超薄膜层，有机分子层。
产品应用 / APPLICATIONS
● 表面科学，超薄膜层，有机分子层。
技术参数 / TECHNICAL DATA
技术参数 / TECHNICAL DATA
| CMP-MBE | 8英寸不锈钢球形真空腔体 |
| 本底真空 | <1×10-10 mbar |
| 四轴高低温样品台 | X/Y方向移动：±5mm； |
| 蒸发源 | 5个 |
| 离子枪 | 2~5KeV离子枪，配备Port Aligner |
| 可选项 | （1）QCM；（2）红外测温仪；（3）反射式高能电子衍射仪 |
