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适用范围
面向客户提供高效完整的测量方案,适用国内、航空航天、汽车发动机、科研院所、半导体、芯片、精密电子等制造业。
升级扩展选项
A、英国 RENISHAW 接触式测头;
B、TZTEK 白光测量模块
C、自锁式钢化玻璃压板夹具;
主要特点
・TZTEK 8.3:1 自动变倍镜头,光学放大倍率0.6-5.0×
・选配 TZTEK 13.3:1 自动变倍镜头,光学放大倍率0.6-8.0×
・可程控式 6 环 8 区环形落射光源,LED 轮廓光源
・可飞拍测量,效率提高 5-10 倍
・可快速自动对焦,大幅提升测量效率
・大行程移动桥龙门结构,测量工件,高效安全
・配置可移动手柄方便测量任务编制及机台操作
・配置稳定的花岗岩主体结构,THK 精密直线导轨、0.1 μm Renishaw 高精度光栅尺
・X、Y 轴直线电机驱动,加速度可达 1000 mm/s²,稳定高效
・精密全自动测量,4 轴 CNC 伺服控制系统(X、Y、Z、Zoom)
・可加装光谱、接触式测头、同轴光、手动 / 自动压板等
型号规格
型号 | VMG452 | VMG672 | VMG8102 | VMG10122 | VMG12162 | |
行程 / 测量范围(mm)* | 400×500×250 | 600×700×250 | 800×1000×250 | 1000×1200×250 | 1200×1600×250 | |
外型尺寸(mm) | 1255×1532×1747 | 1455×1732×1747 | 1715×2212×1777 | 1915×2412×1777 | 2115×2812×1777 | |
重量(kg) | 1500 | 1900 | 2900 | 3650 | 4740 | |
承重(kg) | 80 | 60 | ||||
检测精度 | XY 轴(μm)** | E2=(2.5+L/200) | E2=(3.0+L/200) | E2=(4.0+L/200) | ||
Z 轴(μm)*** | E1=(5.0+L/200) | |||||
E1=(2.8+L/200)(选配 13.3:1 镜头) | ||||||
光学镜头 | 8.3:1 连续变倍(选配 13.3:1 连续变倍) | |||||
放大倍率 **** | 光学放大倍率:0.6-5.0×;影像放大倍率 :17-141× | |||||
光源 | 轮廓光 | LED 冷光源,256 级亮度可调 | ||||
落射光 | 程控式 6 环 8 区 LED 冷光源,各段独立操控,256 级亮度可调(选配可升降) | |||||
同轴光 ***** | 选配,LED 冷光源,256 级亮度可调 | |||||
图像传感器 | 高清彩色工业数字摄像机 | |||||
运动控制 | 4 轴 CNC 伺服控制系统(X、Y、Z、Zoom) | |||||
速度 | XY 轴(mm/s) | 500 | ||||
Z 轴(mm/s) | 100 | |||||
导轨 | THK | |||||
光栅尺 | 0.1 μm Renishaw 光栅尺 | |||||
最小显示单位(μm) | 0.1 | |||||
图像处理 | TZTEK *图像分析方法,256 灰度级, 20:1 亚像素处理技术 | |||||
软件 | Vispec 软件平台(VMG 版) | |||||
工作环境 | 温度 20℃ ±2℃,湿度 30-80% | |||||
振动 <0.002 g,低于 15 Hz | ||||||
电源 | 200-240 V,50/60 Hz,单相,700 W |
* Z 轴标配有效检测行程 210 mm, 可加高至 250 mm
** L 表示检测长度, 以毫米为单位
*** Z 轴线性精度按天准标准器检验
**** 放大倍率为近似值, 具体值与显示器的尺寸以及显示器的分辨率相关
***** 同轴光可选配, 技术参数同轮廓光
VMG 客户可根据需求选配 0.5× 或 1.5× 附加镜 , 实现影像放大倍率 10-88× 或 32-264×