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CYG511薄形压力传感器
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昆山双桥传感器测控技术有限公司是中科院昆山高科技产业园、国家火炬计划昆山传感器产业基地核心骨干企业，成立于2001年，注册资产600万元,现总资产近1320万元。公司以MEMS压阻压力传感器为主导产品，兼及其它相关传感器、变送器，自控仪表及系统的开发、生产与销售。公司2002年评为江苏省，2008昆山市33家通过复审的。公司2002年通过ISO9001:2000标准质量管理体系的认证，公司先后被评为苏州市民营企业、全国民营科技企业创新奖、江苏省质量信得过企业、昆山市科技研发中心、昆山市的；先后获得国家技术发明二等奖、国家发明优秀奖、科技进步一等奖、中国仪器仪表学会科技成果奖、石油化工协会科技发明二等奖、中国电子学会电子信息科学技术三等奖，苏州市科技发明二等奖、苏州市科技进步三等奖，苏州市优秀奖、苏州市产品等荣誉十余项。
双桥公司是国内开发MEMS技术压力传感器研究的几个单位之一，是国内较少的几个坚持从MEMS力敏芯片的设计、制造做起，因而具有自主知识产权，确立了以高、特、难、新MEMS压力传感器为企业主发展方向。现有员工五十多人，研究生4人，大专以上文化36人，具有10年以上传感器开发经验的高级技术人员6人，其中研究员级、博导4人。(从事研究开发的技术人员17人)
双桥传感器公司先后参与和承担了国家863高技术研究发展重大专项、国家中小企业科技创新基金项目、江苏省高技术研究项目、苏州市科技攻关项目、昆山市科技攻关项目等国家、省、市各级科技项目十余项次。公司现拥有省*产品10项，已发明15项，实用新型7项，软件著作权3项；申请并已受理累计30项，其中发明21项，国防发明2项。
详细信息
CYG511型薄形压力传感器是专为空气动力学研究中，风洞中试验模型表面压力场分布设计的。它尤其适用于模型很薄，无法用打孔安装微型探针型传感器的应用工况。将极薄的传感器直接贴装或挖浅坑埋下平贴齐模型表面安装。它极薄的专用柔性引线可直接贴在模型表面上。因此它基本上不影响被测流场。
CYG511的压力敏感元件采用*的MEMS技术设计与制造。三维集成、双面加工的硅压阻压力敏感元件具有优秀的线性精度、离子注入、精细光刻技术制作的惠斯顿应变电桥的高度一致性使其具有很小的温度漂移、体微机械加工，精密各向异性腐蚀及硅硅直接键合技术使得硅薄膜力敏结构具有很高灵敏度，很优良稳定性，很优良动态性能的同时具有超薄的厚度。它综合力敏结构与衬底加固结构的总厚度仅为0.6mm，更有利于获得更薄最终尺寸的薄形传感器。
CYG511为绝压测量模式，标准压力量程为100、160、250、400、600、1000、1600、2500、4000kpa。
CYG511外形为薄圆扣式。标称直径为ф8 mm，厚度为2.2 mm，引出线为5线柔性电线，长度为1m，在1m终点处接有用PCB板制成的电桥补偿平衡器，柔性电线的厚度为0.15 mm，宽度为4 mm。
CYG511由于用敏感元件正面承压，因此它适用于无腐蚀性，不导电性的干燥气体。它有相当宽的工作温区和非常优良的动态频响特性，可使用在低至零频，高至数千赫兹频带。如果介质因素复杂，含水量高，可使用复盖有有机硅凝胶保护表面及电极的CYG511S（有机硅凝胶会降低其动态频响性能）。采用薄膜有机材料覆盖保护的产品CYG511P，由于保护膜厚度为um量级，对动态频响损失较少，特制周期较长及有较多的成本增加。
1、性能指标参数：
| 指标/档级 | 非线性精度 ±%FS | 迟滞重复性 %FS | 零位温度系数 ×10-4FS /℃ | 灵敏度温度系数 ×10-4FS /℃ | 零位时漂 ＜mv/8h |
| JA | 0.5 | 0.1 | 5 | 5 | 0.2 |
| JB | 0.2 | 0.1 | 2 | 2 | 0.1 |
2、满量程输出： 最小值30mv 典型值80mv 值130mv
3、输入输出阻抗：最小值3 kΩ 典型值5 kΩ 值7 kΩ
4、输入工作电流：1mA（恒流源）
5、工作温度范围：-55℃～+120℃
6、补偿温度范围：-10℃～+80℃
7、过载能力： 额定量程的200%
8、加速度灵敏度：＜0.001%FS/g
9、外形尺寸图：
