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起订量：
CYG503、504微型压力传感器
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昆山双桥传感器测控技术有限公司是中科院昆山高科技产业园、国家火炬计划昆山传感器产业基地核心骨干企业，成立于2001年，注册资产600万元,现总资产近1320万元。公司以MEMS压阻压力传感器为主导产品，兼及其它相关传感器、变送器，自控仪表及系统的开发、生产与销售。公司2002年评为江苏省，2008昆山市33家通过复审的。公司2002年通过ISO9001:2000标准质量管理体系的认证，公司先后被评为苏州市民营企业、全国民营科技企业创新奖、江苏省质量信得过企业、昆山市科技研发中心、昆山市的；先后获得国家技术发明二等奖、国家发明优秀奖、科技进步一等奖、中国仪器仪表学会科技成果奖、石油化工协会科技发明二等奖、中国电子学会电子信息科学技术三等奖，苏州市科技发明二等奖、苏州市科技进步三等奖，苏州市优秀奖、苏州市产品等荣誉十余项。
双桥公司是国内开发MEMS技术压力传感器研究的几个单位之一，是国内较少的几个坚持从MEMS力敏芯片的设计、制造做起，因而具有自主知识产权，确立了以高、特、难、新MEMS压力传感器为企业主发展方向。现有员工五十多人，研究生4人，大专以上文化36人，具有10年以上传感器开发经验的高级技术人员6人，其中研究员级、博导4人。(从事研究开发的技术人员17人)
双桥传感器公司先后参与和承担了国家863高技术研究发展重大专项、国家中小企业科技创新基金项目、江苏省高技术研究项目、苏州市科技攻关项目、昆山市科技攻关项目等国家、省、市各级科技项目十余项次。公司现拥有省*产品10项，已发明15项，实用新型7项，软件著作权3项；申请并已受理累计30项，其中发明21项，国防发明2项。
详细信息
标称尺寸外径3mm的微型压力传感器CYG503是专为空气动力学研究试验中，要求安装尺寸小，不扰动流场，动态响应优良动态压力分布测量而设计的。应用于如发动机进气道压力畸变、喘振等的空气动力学性能测定。
CYG503的压力敏感元件采用*的MEMS（Miro Electronic Machinical Systems）技术设计与制造。三维集成、双面加工的硅压阻压力敏感元件具有优秀的线性精度、离子注入、精细光刻技术制作的惠斯顿应变电桥的高度一致性使其具有很小的温度漂移、体微机械加工，精密各向异性腐蚀形成的硅薄膜力敏结构使其具有很高的压力灵敏度和小至1.5mm以下的径向尺度。*的微型化的压力敏感芯片采用无应力封装技术，密封封装在特制的微型安装基座和不锈钢毛细管中。绝压型传感器参考压力腔是芯片背面密封的真空腔，表压型传感器的参考压力腔是通过一根更细的不锈钢毛细管从背面引出与大气沟通。也为了方便用户为取得稳定的压力参考而用细尼龙管将它引至气压稳定处。
CYG503A绝压型微型压力传感器为探针形，标准外径为Ф3.5mm，长度为18mm，特制的短柱形CYG503AS将长度缩短为12mm。可选量程为100、160、250、400、600、1000、1600、2500、4000kpa压力。
CYG503G表压型微型压力传感器为探针形、标准外径为Ф3.5mm，长度为18mm，背压引出毛细管长为12mm。可选量程为160、250、400、600、1000、1600、2500 kpa表压力。
CYG503的设计制作已获得国家发明、号为：.3。
CYG504微型螺栓安装型压力传感器是为方便一些用户使用要求的CYG503的衍生品种，绝压、表压均可。它的外形尺寸见附图。
CYG503、504型传感器由于用敏感元件正面承压，因此，它仅适用于介质为无腐蚀性，不导电性的干燥气体。但它有相当宽的工作温区和非常好的动态频响。可使用的动态频响低至零频、高至数十千赫兹。表面增加涂复保护可改善介质适用能力，但以牺牲频响特性为代价。
1、性能指标参数
| 指标/档级 | 非线性精度 ±%FS | 迟滞重复性 %FS | 零位温度系数 ×10-4FS /℃ | 灵敏度温度系数 ×10-4FS /℃ | 零位时漂 ＜mv/8h |
| JA | 0.5 | 0.1 | 5 | 5 | 0.2 |
| JB | 0.2 | 0.1 | 2 | 2 | 0.1 |
2、满量程输出： 最小值30mv 典型值80mv 值130mv
3、输入输出阻抗：最小值3 kΩ 典型值5 kΩ 值7 kΩ
4、输入工作电流：1.5mA（表压型）1mA（绝压型）（恒流源）
5、工作温度范围：-55℃～+120℃
6、补偿温度范围：-10℃～+80℃
7、过载能力： 额定量程的200%
8、加速度灵敏度：＜0.001%FS/g
9、外形尺寸图：
