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白光干涉仪&轮廓仪
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测量系统 | |
量测原理 | 白光干涉 |
Z轴定位系统 | 压电效应调节系统 |
高度量测范围 | 可达400 μm |
摄像头参数 | CCD摄像头;1624x 1234相素 |
干涉物镜系统 | |
放大倍数MAG 视场范围FOV (mm) 横向分辨率 (um) | 2.5 ×, 5 ×, 10 ×, 20 ×, 50 ×, 100 × 4.12 × 3.06 mm2 – 0.103 × 0.076mm2 10.54 μm – 0.55 μm |
光源 | LED |
测试时间 | 通常<20秒 |
软件系统 | |
SmartWLI | 基于微软Win7操作系统,64位表面形貌测量软件;三维数据可通过接口直接传输至MountainsMap分析软件。 |
MountainsMap | 三维数据分析软件,轮廓及三维影像结果输出、测量数据预处理及后处理、德标(DIN)欧标( EN) ISO标准粗糙度及高度测定、串行处理及测试日志。 |
输出文件格式 | ASCII, SUR, BCR-STM, BMP, JPEG, TIF |