探针测量技术的一个优点是它是一种直接测量，与材料特性无关。 可调节的触力以及探针的选择都使其可以对各种结构和材料进行精确测量。 通过测量粗糙度和应力，可以对工艺进行量化，确定添加或去除的材料量，以及结构的任何变化。
主要技术参数
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1.台阶高度：几纳米至1200μm
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2.低触力：0.03至15mg
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3.视频：500万像素高分辨率彩色摄像头
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4.梯形失真校正：消除侧视光学系统引起的失真
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5.圆弧校正：消除由于探针的弧形运动引起的误差
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6.紧凑尺寸：最小占地面积的台式探针式轮廓仪
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7.软件：用户友好的软件界面
主要应用
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1.台阶高度：2D台阶高度
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2.纹理：2D粗糙度和波纹度
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3.形式：2D翘曲和形状
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4.应力：2D薄膜应力
应用领域
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1.大学，研究实验室和研究所
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2.半导体和复合半导体
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3.SIMS：二次离子质谱
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4.LED：发光二极管
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5.太阳能
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6.MEMS：微电子机械系统
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7.汽车
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8.医疗设备
实例展示
台阶高度
纹理：粗糙度和波纹度
形式：翘曲和形状
应力：2D薄膜应力
Alpha-Step D-500能够测量在生产包含多个工艺层的半导体或化合物半导体器件期间所产生的应力。 使用应力卡盘将样品支撑在中性位置精确测量样品翘曲。 然后通过应用Stoney方程，利用诸如薄膜沉积工艺的形状变化来计算应力。
- Alpha-Step D-500 Stylus Profiler 选项可供选择，配合您的新产品，或后续使用。
探针选项
Alpha-Step D-500有多种探针可用于支持台阶高度、高纵横比步长、粗糙度、样品翘曲和应力的测量。 探针半径范围从100nm到50μm，并决定了测量的横向分辨率。 夹角范围为20到100度，决定了测量特征的纵横比。 所有探针均采用金刚石制造，以减少磨损并延长探针的使用寿命。
样品卡盘
Alpha-Step D-500具有一系列可用于支持应用要求的卡盘。 标准卡盘为镀镍铝卡盘，可以处理至140mm的样品。 一个扁平的黑色卡盘可用于透明样品，限度地减少卡盘表面的反光。 并且提供通用的真空卡盘并包括用于50mm至125mm样品的精密定位销。 标准和通用卡盘均支持应力测量，并使用3点定位器将样品保持在中性位置，进行精确的翘曲度测量。
隔离工作台
Alpha-Step D-500具有桌面和独立隔离台选项。 Granite Isolator™系列提供桌面隔离系统，将花岗岩与高级硅凝胶结合在一起，提供被动隔离。 Onyz系列桌面隔离系统使用气动空气隔离装置来提供被动隔离。 TMC 63-500系列隔离台是一个独立的钢架工作台，使用气动空气隔离装置提供被动隔离。
台阶高度标准
Alpha-Step D-500采用VLSI标准提供的薄膜和厚膜NIST可追踪台阶高度标准。 该标准提供安装在石英块上的硅芯片上的氧化物台阶功能。台阶高度的测量范围是8nm至250μm。
Apex分析软件
Apex分析软件通过水平、过滤、台阶高度、粗糙度和表面形貌分析技术的扩展套件，增强了D-500的标准数据分析能力。 Apex支持ISO粗糙度计算方法以及例如ASME的本地标准。 Apex还可用作报告编写平台，具有添加文本、注释和是/否合格的功能。 Apex有八种语言的版本。
离线分析软件
Alpha-Step D-500离线软件具有与设备软件相同的数据分析功能。 这使用户无需使用宝贵的设备时间即可进行数据分析。
