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台阶仪 探针式轮廓仪 膜厚仪 P17

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  新耕(上海)贸易有限公司是一家为半导体、平面液晶显示器、触控面板等光电通讯行业供应设备与材料的代理商。我们提供给客户泛的产品选择,量测设备、清洗设备,分析仪器,我们所提供的设备、材料以及服务的范围和质量都是无二的。

  新耕(上海)贸易有限公司一贯秉承,精益求精的宗旨,力求做到。我们始终以开放的沟通,优秀的售前和售后支持,和专业水平高发展和维持着与客户长期稳定的良好合作关系。客户的认可是对新耕的奖赏。

  新耕的使命是矢志提供质的服务给所有客户,持续成为设备及服务的首要供货商。无论何种设备、技术咨询、行业咨询,新耕都有超过20年的专业经验。如果您对我们设备由兴趣,或有任何问题,请联络我们,我们将有专业人士为您提供协助。

详细信息

P-17是第八代台式探针轮廓仪,是40多年的表面量测经验的结晶。该系统业界,支持对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量,其扫描可达200mm而无需图像拼接。

该系统结合了UltraLite®传感器、恒力控制和超平扫描平台,因而具备出色的测量稳定性。 通过点击式平台控制、顶视和侧视光学系统以及带光学变焦的高分辨率相机等功能,程序设置简便快速。 P-17具备用于量化表面形貌的各种滤镜、调平和分析算法,可以支持2D或3D测量。 并通过图案识别、排序和特征检测实现全自动测量。

P-17设备是正真可以实现自动化多点测量的设备,是工艺提升的必要工具!

主要技术参数

  • 1.重复性:≤4A (0.01%)
  • 2.垂直分辨率:0.01A
  • 3.水平分辨率(X): 0.025um
  • 4.水平分辨率(Y):0.5um
  • 5.采样率(点):4,000,000
  • 6.垂直线性度: ±0.5%>2000A
  • 7.针压范围:0.03~50mg
  • 8.量测长度:200mm(无需拼接)
  • 9.扫描速度:2um/s-25mm/s

主要功能

  • 1.台阶高度:几纳米至1000μm
  • 2.微力恒力控制:0.03至50mg
  • 3.样品全直径扫描,无需图像拼接
  • 4.视频:500万像素高分辨率彩色摄像机
  • 5.圆弧校正:消除由于探针的弧形运动引起的误差
  • 6.软件:简单易用的软件界面
  • 7.生产能力:通过测序、图案识别和SECS/GEM实现全自动化

主要应用

台阶高度:2D和3D台阶高度

  • 纹理:2D和3D粗糙度和波纹度

  • 形状:2D和3D翘曲和形状

  • 应力:2D和3D薄膜应力

  • 缺陷复检:2D和3D缺陷表面形貌

工业应用

  • 1.大学、研究实验室和研究所

  • 2.半导体和化合物半导体

  • 3.LED:发光二极管

  • 4.太阳能

  • 5.MEMS:微机电系统

  • 6.数据存储

  • 7.汽车

  • 8.医疗设备

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