半导体晶片搬运用机器人
负载:-
动态范围:1215mm
控制柜:SR100
用途:搬运、半导体
特点
l 大动作范围:EFEM模块移动距离可达4套应用设备,无需使用底架,极大地提高了搬运效率。
l 高速搬运:300枚/小时
l 适用:300mm-450mm晶片搬运
*1:本公司标准终端效应器(300mm:边缘把持/真空吸着,450mm:真空吸)
*2:300mm晶体(SEMI规格标准品),当使用本公司标准300mm对应终端校准器时
*3:机械臂回旋中心位置~晶体中心位置(本公司标准300mm对应终端效应器时)
*4:根据SEMI规格为基准的晶体规格。特殊石英晶体请与我司联系。石英晶体也可对应(有业绩)。但是根据石英规格,本公司需要进行评价和调整。
*5:在0.3m/s的流量下,机械臂进行真空吸附