洁净室搬运机器人
负载:165KG
动态范围:2650mm
控制柜:DX100
用途:搬运、半导体、洁净室
特点
l 大负载:165KG
l 大动作范围:水平伸长达2650mm,动作高度达3130mm。
l 洁净度达到ISO6级,可实现高度柔性的系统布局。
*1:依据JIS B8432标准
*2:洁净度依据ISO-14644标准。在0.4m/s以上的向下流风速环境下,来确保整个洁净室的洁净度。
*3:根据用途、作业形式会有所不同。
起订量:
洁净机器人MCL165
免费会员
洁净室搬运机器人
负载:165KG
动态范围:2650mm
控制柜:DX100
用途:搬运、半导体、洁净室
特点
l 大负载:165KG
l 大动作范围:水平伸长达2650mm,动作高度达3130mm。
l 洁净度达到ISO6级,可实现高度柔性的系统布局。
*1:依据JIS B8432标准
*2:洁净度依据ISO-14644标准。在0.4m/s以上的向下流风速环境下,来确保整个洁净室的洁净度。
*3:根据用途、作业形式会有所不同。