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离子溅射仪 MC1000
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日立的企业宣言“Inspire the Next”代表着日立为社会奉献，为新时代注入新活力的决心，以成为“解决方案合作商”为目标，为实现富有而便利的生活做出自己的贡献。日立以集团愿景为行动方针，融合投入事业的极大热情与专业能力，力争在激烈的竞争环境中脱颖而出。
详细信息
离子溅射仪 MC1000
采用磁控型电极，限度地减轻对样品的损坏。
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特点
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规格
特点
- 采用LCD触摸屏，可以更加简便地设定加工条件
- 可处理较厚或较大的样品(选配件)
- 记忆功能可存储常用加工条件
规格
| 项目 | 说明 | |
|---|---|---|
| 放电 | 类型 | 磁控二极管放电型(电场垂直于磁场) |
| 电极组成 | 反向平行盘(嵌入磁铁) | |
| 电压 | 0.4 kV DC(直流可变) | |
| 电流 | 40 mA DC | |
| 喷镀速率 *1() [条件] 压力：7 Pa 放电电流：40 mA 标靶与样品表面之间的距离：20 mm | Pt 靶(选配件) | 15 nm/min |
| Pt-Pd 靶(选配件) | 20 nm/min | |
| Au 靶(选配件) | 35 nm/min | |
| Au-Pd 靶(选配件) | 25 nm/min | |
| 样品尺寸 | 直径 | φ60 mm |
| 高度 | 20 mm | |
| 机械泵 | 135/162 l/min (50/60Hz) | |
| 靶材*2 | Pt , Pt-Pd (8:2) , Au , Au-Pd (6:4) | |
| 电源要求 | 单相, 100 V AC (±10%) 15 A (50/60 Hz), 3-针插头线缆(3 m) | |
| 尺寸 | 宽度 | 450 mm |
| 长度 | 391 mm | |
| 高度 | 390 mm | |
| 重量 | 主机：约 25 kg 机械泵：约 28 kg | |
- *1
- ： 喷镀速率仅供参考
- *2
- ： 主机内不包括靶材。请从选项中选择(铂，铂-钯，金，金-钯)。
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