静电离子风机是高科技产品制造业中的基础
东莞市科友源防静电电子科技有限公司
2023/1/3 9:12:27>> 进入商铺 在高科技产品生产厂,控制静电是提高生产效率,改善品质,增加利润的基础。在半导体、硬盘和平面显示(FPDs)的生产中,静电控制是基本的生产条件之一。如果不能控制静电就意味着,产品要因静电引力导致粒子污染(ESA问题)和静电放电(ESD问题)而受到损失。
美国静电协会(ESDAssociation)和国际半导体设备和材料协会(SemiconductorEquipmentandMaterialsInternational)等组织的静电控制体系可以帮助企业解决静电问题。这些体系主要的技术方法是,使用静电导电材料和静电耗散材料(包括人体)直接接入大地以消散静电。
不幸的是,产品本身和工作环境都不可避免地会使用绝缘材料。当绝缘材料就是产品本身的组成部分时,你无法将其替换,如高科技产品制造中会使用含有氧化层的硅片、半导体器件封装的环氧树脂、器件引脚上的绝缘材料、环氧树脂印刷线路板,FPDs行业中的玻璃片等等。此外,适应特殊环境,如耐高温、耐腐蚀以及洁净室兼容使用的材料:特氟隆、石英以及许多塑料材料都是绝缘材料。接地不能消除绝缘材料上的静电荷,因此,多数情况下,办法就是使用离子风机中和处理。
尽管多数的静电控制体系中都推荐使用空气离子化,但它们却很少在文件当中说明空气离子化的使用方法以及在生产中使用离子风机产生的影响。对于许多行业来讲,使用空气离子化控制静电非常重要,希望通过本文能为空气离子化的用户提供一些被忽略的信息。
空气离子的特性
空气中自然的离子中,通常正离子与负离子的数量为1.2:1。在清洁的室外空气当中,每立方厘米包含有2000~3000个离子。在一个自然通风的建筑里,这个数量会降至500/cm3,在管道通风(空调通风)的建筑里,这个数值很少超过100/cm3。
自然的空气离子主要由空气、地面以及建筑材料中的放射元素的照射所形成。此外,由水流和海浪产生的水滴摩擦、闪电以及大气层上部受宇宙射线和太阳射线的照射也会产生空气离子。其中水滴摩擦产生的主要是负电荷性的小空气离子。
在纯净的空气中,离子的寿命不会超过几分钟,其衰减的速度取决于多种因素。离子的密度越高离子与相反极性离子相遇的机率越强。一旦相遇就会发生电荷转移,两个离子变成两个中性分子。电荷转移在离子接触到接地表面时也同样会发生,因此,用于中和静电的离子必须尽量减少极性相反的离子相互作用,同时尽可能与大的接地体隔离开。
此外,大的空气离子一旦形成,它的运动速度要比小的空气离子要慢(见公式2)。大空气离子对空气电导的影响小,一般不用于静电荷中和。
小空气离子能够在静电荷电场的作用下在空气中移动。一个静电场作用在带电离子的空气,会吸引相反极性的空气离子移向产生电场的电荷。离子被吸引到具有极性相反电荷的物体表面,直至电荷被中和,静电场消失为止。这是使用空气离子控制静电的基本原理。
离子化标准。离子风机的离子平衡度,或者说是偏执电压,可以使用充电板监测仪(CPM)测量,这在静电协会(ESDA)关于空气离子化的标准中进行了定义。ANSIESDSTM3.1是得到世界范围认可的离子化的标准,也为许多国际静电控制标准所推荐。作为标准的测试方法,它只对不同的系统或同一系统的整个过程,定义了测试仪器和测试方法,而没有技术要求,因为空气离子化使用中会有不同的情况。对于最终客户来说,要解决静电荷问题,放电时间应当予以确定。
选择离子化方式。被保护产品的ESD敏感度通常决定了的离子化设备种类。越敏感的产品需要离子平衡能力越精确,越稳定的离子化设备。它要求使用CPM测量离子化设备的平衡度不能超过几十伏。
选择离子风机还可能要考虑其他的一些因素。这包括能否使用气流,离子风机与工作区的距离,以及洁净室对于离子风机的兼容性等等。
电晕电离离子风机
有多种方法可以通过电晕电离产生和推动带有两种极性离子的空气作用到工作区。这些方法主要区别在于是否使用交流高压,直流高压,或是脉冲直流产生离子。
交流离子化。交流离子化技术的原理是,将交流高压加在彼此接近的离子发射极上,发射极会以50或60Hz的交流频率交替产生正负离子。由于高于电离电压点的时间只占整个时间的一部分,所以交流离子化的效率较低。