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　　干式机械泵是指泵能从大气压力下开始抽气，又能将被抽气体直接排到大气中去，泵腔内无油或其他工作介质，而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。干式机械泵常用真空泵有干式螺杆真空泵、无油往复真空泵、爪式真空泵和无油涡旋真空泵四种。
 

　　1) 干式螺杆真空泵
 

　　普诺克干式螺杆真空泵，是利用一对螺杆，在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备，两螺杆经精细动平衡校正，由轴承支撑，安装在泵壳中，螺杆与螺杆之间都有一定的间隙，因此泵工作时，相互之间无磨擦，运转平稳，噪音低，工作腔无需润滑油，因此，干式螺杆泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合，极限真空更高，消耗功率更低，具有节能，免维修等优点。它是油封式/水环式/喷射式真空泵的更新换代产品。
 

　　2) 无油往复真空泵
 

　　靠活塞往复运动使泵腔(气缸)的工作容积周期性地变化来抽气的真空泵，又称活塞真空泵。往复真空泵的结构与往复活塞压缩机相似。工作时，吸气管接被抽真空容器，排气管直通大气。往复真空泵可用于真空蒸馏、真空浓缩、真空结晶、真空过滤、真空干燥和混凝土真空作业等。
 

　　3) 爪式真空泵
 

　　爪式真空泵由多级转子构成，其中每级都有2个转子构成，两个转子反方向旋转，吸气口与泵腔接通，泵腔容积变大而吸气，当转子关闭吸气口时吸气结束，以后泵腔变小而压缩气体，当排气口打开后泵腔排气，排气口关闭时则排气完毕，如此循环工作。
 

　　4) 无油涡旋真空泵
 

　　涡旋无油真空泵的涡旋盘就是一个一端与一个平面相接的一个或几个渐开线螺旋形成一个涡旋型盘状结构。一个静涡旋盘与一个动涡旋盘组成的一对涡旋盘付构成了涡旋无油真空的基本抽气机构。例如在双级涡旋无油真空泵中，有两个方向对应的固定涡旋盘，一个位于两个涡旋盘之间的转动涡旋盘。动、静涡旋盘相对运动形成容积不断变化的新月形真空腔使气从抽气口吸入、排气口排出、完成排气循环。
 

　　油封式机械真空泵是用油来保持运动部件的密封、靠泵腔容积变化而实现抽气的机械真空泵。工作原理是使泵腔工作室容积机械地增大和缩小而抽气。当泵腔内工作室容积变得小时，与泵的入口管道连通，于是气体进入泵吸入腔，一直到吸入腔容积大并重新与进气口分开时为止。当容积减少时，气体被压缩，直到气体的压力大于一个大气压，排气阀被打开，将气体排出。油封式机械真空泵按结构型式可分为定片式、旋片式和滑阀式三种。他们都是利用真空泵油来润滑、密封和降温；都是靠转子在泵壳内运动使转子、叶片、泵壳之间的容积周期性变化，以达到抽气和排气的目的。
 

　　一、定片式真空泵
 

　　其结构简单且使用寿命长，检修容易，双级泵的极限真空度可达10–3Torr，但抽速较小，应用很少。
 

　　二、普诺克旋片式真空泵
 

　　分为单级旋片式真空泵(由定子、旋片、转子等组成，只有一个工作室)和双级旋片式真空泵(它由两个工作室组成，两室前后串联，同向等速旋转，Ⅰ室为Ⅱ室的前级)。
 

三、滑阀式真空泵
 

　　主要由泵体及内部做偏心转动的滑阀部件、半圆形的滑阀导轨、排气阀、轴等组成。
 

　　不管是油封式真空泵还是干式真空泵，在抽除可凝性气体的过程中，一旦被抽气体的压力超过当时该气体的饱和蒸气压，就会出现可凝性气体的凝结现象。而油封式真空泵因为泵腔内有润滑油的存在，当出现可凝性气体凝结的时候，凝结液化的气体一方面会造成泵油污染，久而久之就会发生泵油乳化，使之失去润滑保护作用；另一方面凝结后的气体在返回低压端的时候会重新蒸发，造成真空泵的真空性能及抽气效率下降。气镇就是为解决油封式真空泵的这种现象而设置的。
 

　　油封式真空泵的工作原理较为简单，即在可凝性气体的分压要超过该气体的饱和蒸气压而泵腔内的整体压力却未达排气压力时，通过气镇适时地充入干燥久性气体，使泵腔内的整体压力提前达到排气压力，进行排放，进而阻止可凝性气体凝结。排放过程中，充入的久性气体也会随原有泵腔内的气体一同排出。
 

　　以上就是气镇在油封式真空泵中所起的作用。但即使是有气镇的存在，油封式真空泵也只是适合抽除一定量的可凝性气体的介质环境，一旦大量出现，效率就无法保证。而干式真空泵也有可能出现气体凝结的现象，但由于干式真空泵中没有泵油，因此对可凝性气体的抽除性能要优于各类油封式真空泵。