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面议该镀膜机为前开门箱式电子束蒸发镀膜设备,该镀膜机功能强、镀膜质量稳定、重复性好、操作简便。适用于制备导电薄膜,半导体薄膜、铁电薄膜、光学薄膜,高性能薄膜研究及新材料科学研究工作。
镀膜机的真空室材料均采用优良材质SUS304 不锈钢材料制造,工艺规范、精致,具有高真空度、高清洁度,可以保证材料的成膜纯度。
采用大抽速的变频控制分子泵+直联机械泵机组,具有抽速快、无油、操作方便快捷、易于维护的特点。配备270OE型电子束蒸发源,电源稳定,控制精度高,带有高压自动灭弧复位装置,操做简便,性能可靠。
适合大学物理、材料、化学等领域的学生实验及教师科学研究。
◆ 镀膜室体积:500mmX500mmX600mm;
◆ 极限真空度:6.7X10-5 Pa,恢复真空:从大气抽至6.7X0-4 Pa (40分钟);
◆ 真空抽气系统:机械泵与分子泵组成;
◆ 真空测量系统:数显复合真空计;
◆ 蒸发源:电子束蒸发源:E型电子枪,功率0~6KW可调;电阻蒸发源:功率3kW/10V两组;
◆ 工件烘烤温度:室温~350℃可控可调(PID控温);
◆ 选配件:光学膜厚测量仪、石英晶振测厚仪、高压离子轰击、霍尔离子源、冷却水机组等;
◆ 供电电源:三相AC380V,50Hz。
◆ 特殊规格可定制。