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AWM5101VN气流质量传感器技术规格：
● 流量范围：0-5 SLPM
● 后缀- 标定气体：VA- 氩气（Ar）
● 温度范围：-20~+70˚C
● 冲击指标：100g 峰值，6ms 半正弦(3drops,3 的每一方向）
● 输出@ 较整点：5VDC@ 满量程流量
● 压差@满量程：参照压力& 气流表
● 满量程输出漂移：后缀VA 或VN ± 7.0% 读数，VC ± 10.0% 读数
● 线性误差：±3.0% 读数
● 迟滞& 重复性：±0.5% 读数
● 泄漏 max：0.1psi/min,在静态中
产品用途：空气污染监测设备，HVAC 湿度控制，气体分析机，医疗器械，过程控制等。
