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设备主要配置：技术指标
| 规格型号 | PHOENIX Quadro TRIVAC D2.5E |
| 真空模式可检测的氦泄漏率 | 5x10-12mbar l/s |
| 响应时间 | ＜1 s |
| 入口压力 | 15 mbar |
| 抽氦速度ULTRA | ＞3.1 l/s |
| 可检测的气体 | 4He、H2、质量数3 |
| 吸枪-模式可检测的氦泄漏率 | 1x10-8mbar l/s |
| 吸枪SL300的气流量 | 20-25 sccm |
| 测量范围 | 12个数量级 |
| 启动时间 | 110 s |
| 离子源 | 双灯丝 |
