非接触涡流法方阻分析仪

本仪器为非接触，非损伤测试;主要利用涡电流测试原理，非接触测试半导体材料，石墨烯，透明导电膜，碳纳米管，金属等材料的电学特性。

一、硬件配置及说明

1)     方阻探头：

由于电阻率范围较大，需要采用两中规格探头，如下：

中量程（上下探头，0.02-1.5Ω*cm，厚度约700um）

高量程（上下探头，1.0-100Ω*cm，厚度约700um）

2)     PN探头：

测试样片PN类型

3)     多点测试平台

由于方阻探头采用上下两个探头，因此采用探头固定，晶圆平移及旋转的方式，来进行多点的面测试

4)     厚度探头（选配，可采用手动输入已知厚度的方式）

量程（200um - 1000um），主要用于将方阻探头数据转换为电阻率

5)     OCR晶圆ID识别（选配）

自动识别Wafer编码信息

二、主要技术参数

三、     软件功能

3.1系统预装正版Windows 10专业版操作系统

3.2设备安装自主产权测试应用软件

3.3测试方块电阻，电导，电阻率（须输入厚度数据）

3.4软件具备SPC统计功能

3.5可输入并保存设备编号，批次号，样品号，操作员号

3.6可生成PDF版测试报告，报告包含SPC统计数据以及扫描图

3.7可调用/新建测试菜单

3.8用户可设定测试上限，下限值

3.9可记录样品测试开始时间，结束时间

3.10所有测试信息至少保留1个月以上

四、仪器使用环境

l  环境温度：23 ±5°C

l  环境湿度：（65±20）%RH

l  电源要求：额定电压（220±22）VAC  频率（50±1）Hz

五、安装与验收

1)     物流运输；

2)     仪器至甲方后，乙方在得到甲方通知后（最迟甲方签收仪器后5个工作日），上门为甲方安装通电并协助甲方验收；

3)     验收标准：以本协议第2项技术参数中的“验收判定"内容实施现场验收；

4)     验收合格后甲方为乙方签字确认。

六、技术支持与培训

1)     乙方提供7*12h在线技术支持，2小时内回馈；

2)     乙方负责在验收过程中对甲方技术人员现场技术培训；

3)     在质保期内，乙方为甲方提供全套免费技术服务，不限于更换备件等；质保期后，若非人为损坏仪器的维修服务，乙方只收取硬件成本费用；

4)     乙方免费协助甲方将仪器数据对接至甲方MES系统，若需增加硬件则无需甲方承担费用。

七、质保期

本仪器，乙方提供自验收之日起1年质保；

八、发货备件清单