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1、 引言
VTC-100PA真空旋转涂膜机适用于半导体、晶体、光盘、制版等表面涂覆工艺。本机可用于强酸、强碱性涂覆溶液的涂膜制备。
2、 主要技术指标
电机功率：350W
电源：AC220V 50Hz
速度范围：500rpm-10000rpm
程序运行：可储存12组程序，每组程序包含6个运行阶段
增减速率设置范围：100rpm/s-2000rpm/s
时间范围：0-60s
吸盘：Ø19mm、Ø60mm
本机可选配加热功能：加温范围RT-150℃； 加热盖，水槽及吸盘采用耐高温材质聚四氟；温度单独控制，与主机程序控制无关联；
尺寸：450mm×280mm×340mm
重量：20kg
