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简介

Suragus面阻测试仪来自德国，其通过涡流的原理测量材料面阻值，该技术是一种非接触式面阻测试技术且测试准确稳定，对于无损检测、在线监测具有重要意义。

规格参数

测量模式：非接触式实时测量

衬底：foils, glass, wafer等

平台尺寸：8 inch / 204 x 204 mm（其他规格请联系）

面阻范围： 0.0001 to 3,000 Ohm/sq

薄膜厚度：2nm – 2mm（依据面阻而定）

设备尺寸：11.4 x 17.5 x 5.5 inch / 290 x 445 x 140 mm@10 Kg

功能图解

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