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简介

Suragus面阻测试仪来自德国，其通过涡流的原理测量材料面阻值，该技术是一种非接触式面阻测试技术且测试准确稳定，对于无损检测、在线监测具有重要意义。

规格参数

测量模式：非接触式实时测量

衬底：foils, glass, wafer等

样品尺寸：> 150 x 150 mm (6x6 inch)

电源：锂电池，可支持9小时以上。

面阻范围：

超低档 0.001 – 0.1 Ohm/sq；

低档： 0.04 – 1 Ohm/sq；

标准: 0.3 – 50 Ohm/sq；

gao档: 0.3 – 100 Ohm/sq。

薄膜厚度：5 nm – 500 µm（依据面阻而定）

发射率：0.005 – 0.2

精度：优于3%

触摸屏：2.8 inch

设备尺寸：7 x 3,5 x 1,9 inch / 178 x 87 x 48 mm @ 340 g

接口：蓝牙（选件）

功能图解

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