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简介

Suragus面阻测试仪来自德国，其通过涡流的原理测量材料面阻值，该技术是一种非接触式面阻测试技术且测试准确稳定，对于无损检测、在线监测具有重要意义。

规格参数

测量模式：非接触式实时测量

衬底：foils, glass, wafer等

zui大扫描尺寸：10 inch / 254 x 254 mm (其他尺寸可定制)

检测间距：2 / 5 / 10 / 25 mm （取决于不同样品厚度和应用）

面阻范围： 0.0001 to 1000 Ohm/sq

薄膜厚度：2nm – 2mm（依据面阻而定）

扫描间距：1 / 2 / 5 / 10 mm (其他可定制)

检测速度：

4 inch / 200 x 200 mm约  0.5~ 5 minutes (1 – 10 mm pitch)；

8 inch / 200 x 200 mm 约1.5 ~ 15 minutes (1 – 10 mm pitch)。

设备尺寸：23.6 x 9.05 x 31.5 inch / 600 x 230 x 800 mm @ 27 kg

其他选件：各向异性；光透过率。

功能图解

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