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优点：
■ 测量范围广：5 X 10 -7～1 Pa
■ 全金属冷阴极陶瓷传感器
■ 新型几何电极提供了的点火性能
■ 降低等离子点火高电压和钛阴极板污染的危险，即使在氩溅射过程中也一样
■ 阳极环和钛阴极可清洗，**换容易
■ **小磁场强度测量
■ LED指示灯电源和等离子点火
■ 对数模拟输出信号
■ Fieldbus总线接口(Profibus DB，DeviceNet),集成到真空系统的网络通信
