半导体功率器件CV特性结电容分析测试仪

一、设备简述：

天士立科技ST-CVX半导体功率器件CV特性结电容分析测试仪是陕西天士立科技有限公司根据当前半导体功率器件发展趋势，针对半导体材料及功率器件设计的分析仪器。

仪器采用了一体化集成设计，二极管、三极管、MOS管及IGBT等半导体功率器件寄生电容、CV特性可一键测试，无需频繁切换接线及设置参数，单管功率器件及模组功率器件均可一键快速测试，适用于生产线快速测试、自动化集成。

CV曲线扫描分析能力亦能满足实验室对半导体材料及功率器件的研发及分析。

仪器设计频率为1kHz-2MHz，VGS电压可达±40V，VDS电压可达±200V/±1500V/±3000V，足以满足大多数功率器件测试。

二、应用领域：

l 半导体功率器件：二极管、三极管、MOSFET、IGBT、晶闸管、集成电路、光电子芯片等寄生电容测试、C-V特性分析

l 半导体材料：晶圆切割、C-V特性分析

l 液晶材料

l 弹性常数分析

l 电容元件：电容器C-V特性测试及分析，电容式传感器测试分析

三、性能特点：

l 一体化设计：LCR+VGS低压源+VDS高压源+通道切换+上位机软件

l 单管器件、模组器件、曲线扫描)三种测试方式一体

l 四寄生参数(Ciss、Coss、Crss、Rg或Cies、Coes、Cres、Rg)

l 同屏一键测量及显示

l CV曲线扫描、Ciss-Rg曲线扫描

四、功能指标：

l Vds：0~1200V

l Vgs：±25V

l Rg ：0~10KΩ

l 信号电压：1mV~1000mV

l 测试精度：0.01pf

l 测试频率：0.01KHZ~1MHZ

l 主要功能：IGBT，二极管，氮化镓、碳化硅 MOSFET等功率器件Rg\Ciss\Coss\Crss参数和CV特性测试分析

五、软件操作

上位机使用Labview界面开发，该程序体现为人机交互界面，作为测试平台的交互系统，通过与LCR表、主控板等设备通讯，实现对设备的自动操作并进行数据采集、在界面上显示LCR表的测试波形、并对测试波形进行分析、计算，最终得到结果进行显示和存储。

➢ 进入主界面，主界面分为参数录入区、波形显示区和参数显示区，如下图所示：

六、系统主要部件：

七、验收流程

1. 在需方工作现场完成设备安装；

2. 安装完成后, 双方依据技术协议对设备进行验收进行验收。

3. 验收完成后, 双方签署《验收报告》，作为合同执行依据。

八、技术培训

供方在需方工作现场免费为需方进行测试技术培训。培训内容包括：

1. 系统介绍；

2. 软件使用方法；

3. 硬件使用方法；

4. 器件测试技术；

5. 测试实际操作；

6. 系统使用注意事项；

7. 日常维护与保养

九、售后服务

1、全部供货范围内的设备、材料、零配件和工器具等，除合同特别约定外，其质保期均自终验收签字生效之日起 12 个月。

2、若买方需卖方派工程师来现场解决设备问题，我方应在 3 小时内响应，2 个工作日内派人员抵达买方现场，因我方造成的设备停工时间应在质量保证期中予以相应延长。

3、质保期之内，系统及设备发生任何非人为原因造成的故障和损坏，均由我方负责免费维修和服务，失效零件予以免费更换，所更换的部件三包期从更换之日起重新计算。

4、质保期终止之日起一年内重复出现的质保期之内出现的故障，仍在质保范围而且免费维修。

5、对于备件及易损件的报价，三年内不得提升，确保设备验收后五年内所需的配件国内能够实现现货供应。

6、对于质量保证期后可能涉及的大修改造情况，我司承诺以不高于国内其他用户的供货价格为原则，根据新增功能的难易程度和全新设备的整体价格来综合报价。

7、我方派往买方使用现场的人员，具有 5 年以上的专用素质；现场解决问题时，不得无故拖延或推迟，应为买方提供服务。

8、产品终生免费技术支持，包括硬件维修，软件升级等。硬件维修只收取 相应的器件 成本费用，软件实行终生免费升级。

9、六个月定期产品巡检，对产品硬件及软件升级等。

10、不定期对使用设备人员走访或者电话培训服务。