说明： 

Formtracer Extreme (超级表面粗糙度/ 轮廓测量装置)SV-C3000CNC / SV-C4000CNC

基本技术参数:

基座尺寸 (W x H): 750 x 600mm

基座材料: 花岗岩

重量: 240kg, 250kg (高立柱型)

电源: 100 – 240VAC ±10%, 50/60Hz

能耗: 500W (主机)

轮廓测量技术参数:

X1 轴

测量范围: 200mm

分辨率: 0.05μm

检测方法: 反射型线性编码器

驱动速度: 200mm/s (CNC)

0 - 60mm/s (操纵杆)

测量速度: 0.02 - 2mm/s

移动方向: 向前／向后

直线度: 2μm/200mm

* 以X 轴为水平方向上

　指示精度: ±(1+0.02L)μm,

　 (20° C 时) * L 为驱动长度(mm)

a 轴

倾角: -45° 至 +10°

分辨率: 0.000225°

旋转速度: 1rpm

Z2 轴 (立柱)

垂直移动: 300mm 或 500mm

分辨率: 0.05μm

检测方法: 反射型线性编码器

驱动速度: 200mm/s (CNC)

0 - 60mm/s (操纵杆)

Z1 轴 (检测器)

测量范围: ±25mm

分辨率: 0.2μm (SV-C3100CNC),0.05μm (SV-C4100CNC)

检测方法: 线性编码器 (SV-C3100CNC),

激光全息测微计 (SV-C4100CNC)

直线位移: ± (3+I2HI/25)μm (SV-C3100CNC)

精度 (20° C 时) ± (0.8+I0.5HI/25)μm (SV-C4100CNC)

*H 为基于水平位置的测量高度 (mm)

测针上／下运作: 弧形移动

测针方向: 向下

测力: 30mN

跟踪角度: 向上: 70° , 向下: 70°

(根据表面粗糙度，使用标准单切面测针)

测针针尖 半径: 25μm、硬质合金