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仪器型号Model | VMS-2515E | VMS-3020E | VMS-4030E | VMS-5030E | |||||||
工作台 | 金属台尺寸 | 450*280 | 500*330 | 606*466 | 706*466 | ||||||
玻璃台尺寸 | 306*196 | 350*280 | 450*350 | 550*350 | |||||||
X.Y运动行程 | 250*150 | 300*200 | 400*300 | 500*300 | |||||||
Z轴升降行程 | 150(Focus) | 150(Focus) | 150(Focus) | 150(Focus) | |||||||
X、Y、Z轴数显分辨率 | 1µm | 1µm | 1µm | 1µm | |||||||
X、Y坐标示值误差 | ≤(3+L/200)L为被测长度,单位:mm) | ||||||||||
仪器重量 | 220 | 270 | 325 | 500 | |||||||
外形尺寸 | 670*660*950 | 800*1040*1020 | |||||||||
电机 | 三轴运动速度 | X、Y:400mm/s Z:200mm/s | |||||||||
三轴定位精度 | 0.001mm | ||||||||||
影像系统 | 摄像机 | TEO彩色1/2″CCD摄像机 | |||||||||
变焦镜头 | 手动变焦镜头 | ||||||||||
变焦镜头倍率 | 0.7-4.5X | ||||||||||
视频总倍率 | 20*128X | ||||||||||
物方视场 | 11.1-1.7mm | ||||||||||
电源 | AC220V/AC110V | ||||||||||
消耗功率 | 600W | ||||||||||
仪器配件 | 1X镜筒(标配) | 0.5X镜筒(选配) | |||||||||
变焦镜头 | 0.7-4.5X | 0.7-4.5X | |||||||||
添加镜头 | 视频放大 | 物方视场 | 视频放大 | 物方视场 | 工作距离 | ||||||
0.5X可选 | 11.8X-74X | 22-3.4 | 5.9X-37X | 44-6.8 | 175 | ||||||
标配 | 23.5X-148X | 11.1-1.7X | 11.8X-74X | 22-3.4 | 92 | ||||||
2X可选 | 47X-296X | 5.5-0.9 | 23.5X-148X | 11.1-1.7 | 36 |