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补偿式。
±30 SCCM、±1000 SCCM。
±10.0 mbar。
模拟输出
AWM2000 系列微桥气体质量流量传感器是由两个惠斯通桥构成的被动装置。根据操作规范,还需具备发热器控制电路。根据操作规范,还需具备传感桥供电电路。这两种电路不在封装电路板上,因此必须在应用中提供。差分放大器是一个有用的传感桥接口。它可用于增加增益并将电压偏置引入传感器输出。
AWM 系列微桥式气体质量流量传感器不适用于测量液体流量,液体流过传感器时会损坏传感器。
不遵守这些说明可能会导致产品受损。
AWM2000 datasheet.pdf
sensing-pressure-force-flow-rg.pdf