• 补偿式。

• ±200 SCCM、1000 SCCM 至 -600 SCCM：

• ±5.0 mbar、±10.0 mbar。

• 模拟输出

利用微桥气体质量流量传感器技术。AWM1000 系列气体质量流量传感器具有标准 AWM2000 系列的所有优良性能，而且更加经济实惠。此装置提供准确、可重复的气流传感。传感器与传感器的可互换性规格约是 AWM2000 系列的两倍。

根据操作规范的要求，同时具备加热器控制电路和传感桥供电电路。这两种电路不在传感器电路板上，因此必须在应用中提供。差分放大电路可能有助于提供输出增益和/或将电压偏置导入传感器输出。

注意：产品损伤

AWM 系列微桥式气体质量流量传感器不适用于测量液体流量，液体流过传感器时会损坏传感器。

不遵守这些说明可能会导致产品受损。

sensing-pressure-force-flow-rg.pdf