器件教学套件和工艺教学套件为用户提供了一个学习7nm工业级“数据”的机会，而在当前高校教育中，还需要学生熟悉真实的工业“场景”，场景+数据的模式，让同学能够“知其然，知其所以然”，为此，我们建立了一个7nm集成电路虚拟现实（VR）实验室，重现真实的工业“场景”。

产品简介

“中兴事件”、“华为事件”相继爆发，中美贸易战旷日持久，集成电路对于国家综合国力的重要性不言而喻。当前集成电路高校教学重视理论，缺少实践机会，与真实集成电路人才的需求脱节。出现这一现象的原因可以归结为三点：

⚫集成电路发展迅速，根据摩尔定律，集成电路的集成度每两年就要翻一番，*技术层出不穷，而学校还是沿用几年甚至十几年前的理论进行指导，即使有实践环境，也是很多年前的旧设备、旧工艺，与真实的集成电路制造脱节。

⚫集成电路设备昂贵，相关设施在实验操作过程中（比如扎探针）容易损坏，工艺线要保证无尘和稳定，即使学校组织学生进行企业实践，企业也很难让学生进行真正意义的实践操作。

⚫由于仪器设备成本高、占用空间大，因此，实训阶段需要的设备数量有限，学生无法做到人手一台设备；同时，实验设备复杂多样，实物实训具有很大的危险性，实验通常也需要很长的时间进行调试，这使得人员与设备的安全性无法保证。

为此，我们开发了7nm集成电路虚拟现实（VR）实验室，包含如下内容：

1.工业级*集成电路制造设备：如300毫米（12英寸）半自动探针台、光刻机等。

2.工业级*设备使用过程模拟，包括：装晶圆、扎探针、工艺线操作、封装线操作等操作过程。

3.*工艺线全流程模拟：学生犹如置身于一个真实的工艺线中。

4.*封装线全流程模拟：学生犹如置身于一个真实的快封线中。

5.*测试线全流程模拟：学生犹如置身于一个真实的测试线中。

学生将基础实验设备进行连接，并佩戴VR设备，VR体验设备模拟出如图24所示的集成电路晶圆测试实验场景，学生根据步骤完成实验流程：

集成电路虚拟工艺线模块

虚拟工艺线工业场景，包含*天车系统和EUV光刻机等14nm工艺线主流场景和设备，与14nm集成电路工艺教学套件配合使用，提供全套软硬件设施和实验教材。

集成电路封测实验线模块

虚拟集成电路封测工业场景，完成封装测试过程，提供全套软硬件设施和实验教材。