微纳电子教学套件（工艺版）是便携式微纳电子学工艺教学实验平台的一部分，该产品模拟*工业半导体工艺技术，提供交互式的*半导体单步工艺、器件制造工艺的仿真体验。

产品简介

半导体工艺已经进入7nm FinFET时代，然而相关教学材料（如教科书、课堂讲义和实验设备）却极大地落后于时代步伐，甚至其中一些教学素材仍然在使用20年前的内容。这使得学生所掌握的知识与实际半导体行业要求差距甚远。

微纳电子教学套件（工艺版）是一款基于“虚拟化”教学的创新型产品，适合于高校及其它教育机构，限度地减小教学与工业界的差距。涵盖现代半导体的主要单步工艺（清洗、氧化、淀积、光刻、刻蚀、离子注入、扩散和化学机械抛光等），模拟操作单步工艺的方法、材料以及设备参数的设定。涉及MOSFET、FinFET、LDMOS和GaN等多种半导体器件的制造工艺流程，包括制造流程中每步工艺的参数设定等实践操作。并支持工艺版SEK产品与器件版SEK产品的互连（通过BNC接口），实现对完成工艺制造流程器件的电学特性测量。该教学套件拥有人性化的图形交互界面，实验箱集成了可按键操作的液晶显示屏，模拟实际工艺设备的操作面板，强化工艺学习的实践性。微纳电子工艺教学套件（工艺版）

作为一款强大的教学和实验工具，可以应用于如下场景：

⚫ 半导体工艺教学工具：用于仿真、图形化显示主要半导体单步工艺

⚫ 半导体工艺教学辅助演示：用于直观展示典型器件制造工艺流程

⚫ 半导体工艺实验教学工具：模拟半导体工艺设备的操作行为，可让学生体验现代半导体工艺制造流程和关键参数设定。

产品特性

⚫ 直观全面及实践性：能够演示主要的半导体单步工艺的结构剖面图，直观展示典型半导体器件的制造工艺流程，实验箱液晶显示屏与参数设定按键配合使用，可实现真实半导体工艺设备的模拟操作，增强工艺教学的实践性。

⚫ 与时俱进及可拓展性：产品包含当前器件的制造工艺流程（如FinFET、GaN等），预留4个定制按键用于用户特殊器件工艺的定制需求，半导体工艺模拟器可以根据行业工艺技术的发展进行同步更新。

应用示例

⚫ 单步工艺模式

模拟半导体器件制造中的单步工艺，学习单步工艺如：清洗、氧化、离子注入、刻蚀等的基本原理及其在器件中的作用。                  

器件制造模式

集成了8种器件的制造工艺流程，交互式演示器件制造的多个工艺步骤过程，支持工艺步骤参数的输入，工艺仿真输出包括器件每一步工艺的结构剖面图、掺杂浓度等信息，用户可以通过点选的方式学习器件的结构组成、掺杂浓度分布和关键工艺参数等，如图21所示

器件测试模式

测试功能能够给出工艺仿真步骤完成的器件的I-V特性曲线，可快速将器件工艺特性与真实的*半导体器件特性关联起来