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V60系列瓶阀

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2023-07-24 21:17:55: 97

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产品简介

产品说明超高纯净膜片式瓶阀是针对半导体行业共同研究开发的新产品

详细介绍

产品说明

特性

有手动和气动两种阀，二者基于同一母体设计。
适用于大多数特种气体，包括各种浓度的氧气和高腐蚀性气体如氯气和等。
在符合超高纯标准的洁净厂房内生产制造，最终的装配和测试是在10级无尘室中进行。
针对有低泄漏率要求的高纯气体用户设计。
每个阀门都采用氦气质谱仪检测泄漏率。
膜片直接作用于阀座关闭阀门，光滑过渡的膜片设计可以将气体流道死角减至最小。
阀座的特殊支撑和紧固设计，可以将高压负载下阀座的变形量和背压条件下阀座的提升量减至最小。
膜片为一体式无焊接结构，有效隔离了气体和机械运动部件，提高了使用寿命。
为防止脱落的颗粒物污染，在气体流道中不存在任何滑动，旋转或摩擦部件。
进气口呈喇叭型，增强气体流通，便于清洁和吹扫净化。
进出口端形式适合所有已知的行业标准；阀门也同样适用于市场上各种流体。
手轮可用金属丝锁定。
执行器能够被锁定在关闭位置，以防止运输过程中的震动，导致泄漏。
手动和气动两种形式均适合用标准阀门保护管帽。
出口端采用带链条的管帽密封和保护。
阀门装置包含提高安全性能的二次密封。
母体带有“π”标记表示通过欧盟的TPED认证

技术说明

工作压力：230bar (3300psi)
适用气体：工业和特种气体（包括有毒气体和腐蚀气体和氧气）
孔径：4mm
CV值：0.3
工作温度：-20至65°C
阀体泄漏率：1x10^-9 mbar l/s (200bar He)
阀座泄漏率：小于1x10^-8 mbar l/s (200bar He)

材料

母体：316L VAR stainless steel，Hastelloy C22，Monel，Nickel
阀座：PTCFE, Kynar 740, Vespel SP21 or Zytel 103 (Nylon)
膜片：Elgiloy

阀门气体流道内无任何润滑。阀座选用气体相容性最小的材料。有关材料选择方面的问题请联系我们。

执行器说明

常闭设计的气动执行器通用于所有的钢瓶阀。在驱动气源供气时阀门打开，在弹簧的作用下阀门关闭。旋转阀套可以将阀门锁定在关闭位置。
驱动压力：5 to 8bar (70 to 120psi)
驱动介质：空气或氮气
进气接口：1/8” NPT
结构材料：不锈钢，镍铝青铜和高硬度阳极化铝合金

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