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电子级双氧水的颗粒管控浅议

时间:2023-07-19      阅读:111

什么是双氧水

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 双氧水也 叫过氧化氢,过氧化氢是一种重要 的化工 原料,化学式为 H2 O2 过氧化氢是淡蓝色的黏稠液体 ,可任意比例与水混溶 ,是一种强氧化   ,水溶液俗称双氧水 ,为无色透明液体 。双氧水的生产方法主要有电  法 、蒽醌法 、异丙醇法 、氧阴极还原法和氢氧直接化合法等 ,蒽醌法  生产双氧水 的主要方法 ,  国 内 99%以上 的双氧水装置采用该工 艺。

  双氧水的作用

 氧水根据浓度及应用领域不同可分为电子级 、食品级 、工业级等 。 电  级双氧水是生产电子集成电路的化学试剂,在半导体制程前  端硅片清洗和剥离蚀刻完成后的光刻胶。主要用于半导体硅晶片清洗剂 刻剂和光刻胶去除剂 ,还可用于高级绝缘层制取 ,电镀液无机杂质去   , 电子行业中铜 、铜合金和镓 、锗的处理 , 以及太阳能硅晶片的蚀刻  和清洗 。 从行业产量来看 , 2021 年我 国 高纯 电子级双氧水产量 9.44    ,  同 比增长 32.0%。

子级双氧水属于湿电子化学品 ,技术壁垒较高 。双氧水的颗粒管控也    PMT-2 。在双氧水生产企业已经得 到广泛应用。


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