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TC Wafer 选配软件·概述配合 TC Wafer 温度数据读取适配的多功能仪器。内含软件可以读取 TCWafer 测温数据并进行分析。·特点• 传输通道数量可定制• 优异的软件功能, 可用图形及颜色显示温度分布状况• 数据可储存调用• 可提供各个量温点的温度曲线图及温度剖面图。
TC WAFER则是直接镶嵌于晶圆表面的温度传感器，可以实现晶圆表面温度的实时测量。借助于放置在晶圆表面特定位置之温度传感器，可获得这些特定位置的真实温度测量值以及整天晶圆温度分布；同时，也可利用此传感器来持续监控在热处理工程中晶圆暂态温度变化，例如：升温，降温过程及延迟周期等！（温度的均匀与否，良率）
