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其它洁净机器人系统
其它洁净机器人系统
洁净自动化设备应用在超薄玻璃、电子、食品、医药等行业,即为洁净环境搬运机器人生产线;应用在镀膜、太阳能等行业,即为洁净环境镀膜机器人生产线;应用在食品、医药、纸业等行业的物流环节,即为洁净机器人码垛包装生产线。这里着重介绍洁净环境镀膜机器人生产线。
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基板搬运机器人
基板搬运机器人
净机器人机械结构结合生产工艺的特点,主要分为两大系列,既垂直多关节搬运洁净机器人系列和水平多关节搬运洁净机器人系列。垂直多关节搬运洁净机器人进行全姿态动作运动;水平多关节搬运洁净机器人是水平直线及回转运动型机器人,高速度高精度,动作快捷准确。
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大气机械手
晶圆搬运系列大气机械手主要应用于半导体加工过程中,是负责大气端不同工位间晶圆传送的关键自动化设备。本系列采用轻量、高刚性手臂、高精度、高性能的AC伺服电机和谐波减速器,可实现高速平稳的运行。
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