威固特非硅基微电子元件超声波清洗机

非硅基芯片、微电子元件（是指在芯片上实现的电阻、电容、晶体管等）。还有一种说法是，微电子元件是指芯片中的线宽在一微米上下的器件，更小的称作纳米器件。

威固特专业做超声波清洗机，在清洗芯片、微电子元件等产品上积累的经验而言，得出不管是清洗前或者清洗中以及清洗完毕这个清洗工序，都需注重。因不管是哪个工序都得保证产品最后清洗的成品质量。

威固特一台型号为VGT-12162FH半自动超声波清洗机，为12个功能槽，配置了循环过滤系统、自动恒温系统、抛动系统、电控装置等组成。

VGT-12162FH半自动超声波清洗机在清洗产品的前、中期配置的清洗系统为超声水剂清洗槽、市水漂洗槽、纯水喷淋漂洗槽、纯水漂洗槽等都有各自的特点展示：

其一，每槽设四面溢流口，各槽均为独立循环槽，由循环泵将洗剂由储液箱抽出经过滤后再运回清洗槽，即字母槽循环。

其二，设置独立循环系统。

其三，各槽底部设排液阀且互相串联至洗剂排管（与纯水总排管分开）。

其四，清洁溶液经循环泵重新抽入清洗槽，实现自我循环，提高溶液的利用率，而溢流液排放到总排管。

其五，设市水进口，可分别接至各洗槽及储液箱。

其六，槽体左右侧各设一排喷杆，每根喷杆均布4-5个喷嘴，喷淋泵由储液槽中抽出液体经过滤后由喷嘴喷出，倾斜向下喷淋，且喷嘴为扇形，喷洒范围更广。

其七，槽底部设常开阀。

其八，设纯水进口，设浮球阀控制自动补充纯水。

VGT-12162FH半自动超声波清洗机在清洗最后的烘干程序结构：

其一，槽面设齿状溢流结构，纯水由纯水预热箱进入，由槽体底部接入清洗槽内。槽外贴保温棉厚10mm。

其二，外贴发热板2KW，槽体设“OMRON”数显温控系统，检测槽内工作温度，温控范围：常温～100℃。

其三，高精度表面清洗除前面需要有合理的清洗工艺和配置外，更需要良好的脱水效果。工件表面如果有任何垢点或积水点，最后都将导致清洗前期的失败。高纯水高温慢拉脱水是芯片或者玻璃产品等高要求的是高精度清洗少不了的一道工序，有效的形成均匀的热纯水膜，迅速散失表面水份，实现表面高清洁度目的，为后续干燥奠定有利基础。

其四，烘干槽外贴保温棉，热风从烘干槽四周进入，底部回风。

其五，出风口设有高温高效过滤器及空气加热管。

其六，槽体上部设活动缸盖。

其七，6KW空气加热管置于加热包内。

其八，在烘干槽正上方的机架顶部设置一个FFU层流送风单元。由上往下吹形成的负压风，致使工件加热后附着物不易粘附。

其九，因慢拉槽液温较高，如无顶部FFU的压风，大量的水汽将往上腾，水汽会再次附着于提出的产品上，安装FFU后，可在上方形成局部正压，大部分水汽从缸面的抽气口抽走。

其十，抛动电机通过偏心轮带动连杆上下运动，从而实现抛动架带动洗篮在清洗槽内作上下运动。运行稳定性好，噪声小。

其十一，清洗过程中工件做均匀地抛动，可以增加工件与液体的摩擦，有利于表面污垢迅速脱落，提高清洗效果。