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规格
货号 | CS-3200S4 | ||
测量范围/ 分辨力 | X 轴 | 100mm/0.05µm | |
Z1 轴 (检出器) | 5mm/0.08µm | ||
0.5mm/0.008µm | |||
0.05mm/0.0008µm | |||
Z2 轴 (立柱) | 1 µm | ||
精度 (20ºC) | X 轴 | ±(0.8+0.01L) µm (L= 测量长度(mm)) | |
Z1 轴 (检出器) | ±(1.5+|2H|/100) µm H = 水平位置上的测量高度 (mm) | ||
驱动部 | 直线度 (X 轴) | 正常使用下 | 0.2µm/100mm |
当伸出到 | 0.4µm/100mm | ||
测量速度 | 表面粗糙度测量 | 0.02, 0.05, 0.1, 0.2mm/s (4-step) | |
轮廓测量 | 0.02, 0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1.0, 2.0mm/s (7级) | ||
驱动速度 | X 轴 (水平方向) | 0 to 80mm/s 外加手动 | |
Z2 轴 (垂直方向) | 0 to 20mm/s 外加手动 | ||
上/下移动 | 300mm (电动) | ||
倾角范围 | ±45º | ||
检出器 | 检出方式 | 差动感应 | |
测力 | 0.75mN | ||
测针名称 | 标准测针 (用于粗糙度/轮廓测量) | 针尖角度: 60º 圆锥, 针尖半径: 2µm, 金刚石针尖 | |
圆锥型 (用于轮廓测量) | 针尖角度: 30º 圆锥, 针尖半径: 25µm, 蓝宝石针尖 | ||
测针上/ 下运作 | 适用 (可在半空停顿) |
注:虽然天然石材测量桌的外观各有不同,但材料的稳定性是值得信赖的。