台阶仪（如ET200A等）若长时间不使用，需采取科学的维护措施以确保其精度和寿命。以下是关键维护步骤及注意事项：

1. 探针系统维护

卸下探针：

将金刚石探针从检出器上取下，存放于专用防震盒中，避免碰撞或积灰。

注意：探针极其脆弱，需用无尘棉签蘸取无水乙醇轻拭清洁。

2. 运动系统保养

导轨润滑：

使用仪器专用润滑脂（如氟化油脂）涂抹直线导轨，防止空气氧化导致摩擦系数增大。

注意：润滑前需用无尘布清除旧油脂和灰尘。

手动驱动检查：

每月手动移动X/Y/Z轴数次，避免滚珠丝杠或轴承因长期静止而局部变形。

3. 电子系统防护

定期通电：

每2～3个月开机运行30分钟，使电容保持活性，防止电路板受潮（尤其湿度＞60%环境）。

4. 环境控制

防尘防潮：

覆盖防静电罩，内部放置硅胶干燥剂（需每月检查是否变色失效）。

湿度建议：40~60% RH；温度波动＜±2℃/天。

避震措施：

即使停机，也应保持仪器放置在气浮隔振平台或大理石基座上，避免地面振动传递。

5. 校准与复工准备

复工前校准：

重新使用时需执行：

1. 感度系数校正

2. 台阶高度标准片验证（如SiO₂标样）

3. 线性度检查（扫描已知间距光栅）

数据比对：

测量建议与停机前数据对比，确认仪器状态未偏移。

注意事项

禁止操作：

使用异丙醇以外的溶剂清洁精密部件

徒手触碰光学组件或探针

在未达到恒温条件（通常4小时）时开机测量

长期停机（＞1年）：

建议联系厂家进行专业封存保护关键部件。

通过系统化维护，台阶仪即使闲置2~3年仍可保持±1%的测量精度。复工后若发现异常（如台阶高度重复性＞3%），需立即停机并联系厂商检修。

日本进口KOSAKA 台阶仪，有ET200A，ET4000系列和ET10000，可测量各类薄膜厚度，最小测量单位可达0.1nm，配置行业的直动式传感器，拥有较高的测量精度及重复性。

关键词：台阶仪 | 膜厚仪 | 薄膜测厚仪 | 段差分析仪