与传统非接触测量技术相比，测量速度快，对震动不敏感，真正的实现三维形貌纳米级测量。模块化的设计理念，可配置共焦显微系统, 探针测量系统，传感器直接更换，方便快捷，极大的满足了不同的应用范围。即可用于计量单位和材料科学研发实验室，也广泛应用在工业制造领域：汽车、航天、航空、表面涂层、医疗产品、微型电机系统、半导体等行业。

主要特点：
◆ 非接触式测量原理，无损化检测粗糙度，微观形貌
◆ 的数字全息三维显微技术，真正实现3D微观形貌测量
◆ 创新的成像原理，从原理上保证了对外界振动不敏感，Z轴分辨率高
◆ 激光找正工件并自动定位，测量速度快
◆ 模块化的设计概念，多种光学光路原理，直接更换传感器，不需要调整，方便快捷
◆ 可非标定制相应的测量头，满足不同客户的特殊工件测量要求
◆ 即可选用数字全息技术实现高精密表面测量，也可选用色谱共焦技术实现微观轮廓测量或选用接触式探针实 现内壁粗糙度测量
◆ 惯用了Trimos“智能用户界面”的理念，测量过程全 自动，操作简单
◆ 采用专业的3D形貌分析软件，功能强大，即可实现2D轮廓测量，也可进行3D形貌分析
◆ 可进行编程批量检测并自动生成分析报告
◆ *兼容2D标准，并已内置即将制定的3D标准

软件特点：
TRIMOS NanoWare软件，拥有国际的评价标准程序来实时更新国际标准测量符合以下标准：ISO (4287、4288、11562、1101、12085、13563等)，法国标准NF，制造标准CNOMO，ASME (B46.1) 和DIN标准；三维表面特征数据标准ISO 25178系列同样有效。

TRIMOS® NanoWare LT特点：
用于二维轮廓粗糙度测量分析的基本模块。操作简便，包含用于表面检查，分析形貌，粗糙度和波纹度测量的重要功能。
◆ 常用参数要求数据Ra、Rq、Rt、线性材料曲率
◆ 过滤方式、水平、放大
◆ 所有测量可复现三维形貌
TRIMOS® NanoWare STT：
◆ 3轴测量基本模块. 包含分析轮廓的所有功能及 符合ISO 25178表面分析
◆ 3D基本参数(Sa, Sq, St, Smr, ...)
◆ 表面图形仿真
◆ 距离, 高度及角度测量
◆ 成型, 拉平, 视图等滤波器
◆ 最终结果管理
◆ 测量点管理/再采集
◆ 轮廓提取, 体积测量
TRIMOS® NanoWare PRO：
2D及3D表面特征评估完整版本。此模块综合了表面测量领域15年以来的经验。
◆ 市场上高性能的软件
◆ 表面图层研究
◆ 3D形貌鉴定
◆ 表面及轮廓统计分析及研究

可选测头：

应用示例：