详细内容
INFICON CDG025D/CDG045 电容薄膜真空计
产品介绍
优 点
◆ 全刻度范围从100毫乇…1000乇
◆ 电源接通后的快速稳定性
◆ 暴露大气压后的快速恢复性
◆ 抗腐蚀性陶瓷传感监测器
◆ 的长期讯号稳定性
◆ 温度补偿
◆ 保护传感器防止污染
◆ 键调零功能
◆ 宽范围电源
◆ 2个设点（选项）
◆ RS232接口（选项）
用 途
要求高的应用条件下，精确而快速的压强测量:
◆ 用于刻蚀，CVD, PVD, ALD半导体制造设备
◆ 资料贮存和显示器制造设备
◆ 工业真空设备
◆ 常用高精度真空测量
产品参数
订 货 资 料
CDG025D，温度补偿型
全刻度范围 法兰型式
Torr
Pascal
Mbar
1/2”tube
DN 16 ISO-KF
DN 16 CF-R
8 VCR
1000
133322
1333
375-000
375-001
375-002
375-003
100
13332
133
376-000
376-001
376-002
376-003
10
1333
13.3
377-000
377-001
377-002
377-003
1
13.3
0.13
378-000
378-001
378-002
378-003
0.1
13.3
0.13
379-000
379-001
379-002
379-003
CDG025D, 温度补偿型，带2个设点和RS232接口
全刻度范围 法兰型式
Torr
Pascal
Mbar
1/2”tube
DN 16 ISO-KF
DN 16 CF-R
8 VCR
1000
133322
1333
375-300
375-301
375-302
375-303
-
110000
1100
375-500
375-501
375-502
375-503
200
26664
267
382-300
382-301
-
-
100
13332
133
376-300
376-301
376-302
376-303
-
10000
100
376-500
376-501
376-502
376-503
20
2666
26.7
-
-
-
-
10
1333
13.3
377-300
377-301
377-302
377-303
-
1000
10
377-500
377-501
377-502
377-503
1
133
1.3
378-300
378-301
378-302
378-303
-
100
1
378-500
378-501
378-502
378-503
0.25
33.3
0.33
385-300
385-301
385-302
385-303
0.1
13.3
0.13
379-300
379-301
379-302
379-303
-
10
0.1
319-500
379-501
379-502
379-503
粗体=标准产品
其他法兰型式和全刻度范围，请提出要求
产品介绍
INFICON电容薄膜真空计
产品型号：CDG025D
INFICON SKY CDG025D电容膜片真空计属于高精度温度补偿型真空机，在苛刻的生产环境中具有稳定的性能，的数字电子学提高真空计的性能和易于使用的特点，如键调零功能和设点调整，抗腐蚀性的超纯陶瓷传感器具有的零点稳定性与预期数百万次压强周期包括大气冲击的长使用寿命。的传感器屏敝（zhuanli技术）保护真空计防止过程污染。坚固耐用的机械结构和数字电子学加强了EMC兼容性，长期稳定性和温度补偿性。CDG025D真空计为从电源接通后的快速稳定与暴露大气压后快速恢复等特性设定了新的标准。
