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热反射(Thermo-Reflectance)方法基于超高速激光闪射系统,可测量基片上金属、陶瓷、聚合物薄膜的热物性参数,如热扩散系数(Thermal Diffusivity)、热导率(Thermal Conductivity)、吸热 系数(Thermal Effusivity)和界面热阻。
由于激光闪射时间仅为纳秒(ns)量级,甚至可达到皮秒(ps)量级,此系统可测量厚度低至10nm的薄膜。同时,系统提供不同的测量模式,以适应于不同的基片情况(透明/不透明)。
该方法符合标准:
JIS R 1689:通过脉冲激光热反射方法测量精细陶瓷薄膜的热扩散系数;
JIS R 1690:陶瓷薄膜和金属薄膜界面热阻的测量方法。
技术参数 | NanoTR | PicoTR |
温度范围 | RT,RT … 300°C(选件) | RT,RT … 500°C(选件) |
真空度 | N/A | 10-6 mbar(选件) |
测量模式 | RF/FF | RF/FF |
样品尺寸 | 10x10 ... 20x20 mm | 10x10 ... 20x20 mm |
薄膜厚度 | RF: 金属:1 ... 20µm 陶瓷:300nm ... 5µm 聚合物:30nm ... 2µm FF:> 1µm | RF: 金属:100nm ... 900nm 陶瓷:10nm ... 300nm 聚合物:10nm ... 100nm FF:> 100nm |
基片厚度 | < 1mm | < 1mm |
热扩散温升时间 | 10ns ... 10µs | 10ps ... 10ns |
热扩散系数 | 0.01…1000 mm2/s | 0.01…1000 mm2/s |
测量精度 | 5%(RF), 10%(FF) | 5%(RF), 10%(FF) |
操作系统 | Windows 7 | Windows 7 |
热反射法薄膜导热仪 NanoTR / PicoTR