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等离子清洗机(plasma cleaner)，是一种全新的高科技技术，利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子体是物质的一种状态，也叫做物质的第四态，并不属于常见的固液气三态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括：离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等。等离子清洁机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、涂覆等目的
腔体可利用面积大，起辉均匀，可清洗6英寸硅片。
| 主要部件 | 指标名称 | 参数指标 |
| 清洗仓体 | 清洗仓材质 | SS304 |
| 清洗仓尺寸 | 200x160x240mm | |
| 耦合方式 | 电容耦合 | |
| 射 频 电 源 | 电源特性 | 该电源为全固态射频电源，采用高稳定高可靠的功放模块和直流模块，有效保障了电源的射频功率输出。采用高质量的电子元器件，使产品的可靠性得以保证。 |
| 电源优势 | ●可长时间正常运行 ● 电源效率高、发热少 | |
| 射频功率 | 0~300W连续可调 | |
| 信号频率 | 13.56MHz ±0.005% | |
| 反射功率 | ≤100W | |
| 功率稳定度 | ±0.1% | |
| 射频接头 | N型头 | |
| 整机效率 | ≥75% | |
| 谐波分量 | ≤-50 dBc | |
| 冷却方式 | 强制风冷 | |
| 气 体 测 量 | 测量部件 | 两路质量流量计 Ar 0~200sccm； O2 0~200sccm 可定制 其他参数参考之前的产品 |
| 气体通道 | 两通道 | |
| A通道量程 | 10～100ml | |
| B通道量程 | 16～160ml | |
| 真 空 获 取 | 真空测量 | 数字真空计（电阻规） |
| 真空抽取 | 双极旋片泵 | |
| 电机转速 | 50Hz时为：1440；60Hz时为：1720。 | |
| 抽气速率 | 50Hz时为：240L/Min；60Hz时为：288L/Min。 | |
| 真空量程 | 0.1Pa～10000Pa | |
| 极限真空 | 0.5Pa | |
| 电机噪音 | ≤56dB | |
| 管道接口 | 进气口：KF16;排气口KF16. | |
| 连接管道 | KF16真空波纹管 | |
| 真空阀门 | KF16球阀 | |
| 电机功率 | 400W | |
| 其 它 | 供电电源 | AC220V 50/60Hz |
| 整机功率 | 800W | |
| 使用温度 | -10℃ -- 40℃ | |
| 工作真空 | ≤40Pa | |
| 整机尺寸 | 600mmX650mmX560mm | |
| 整机重量 | 80kg（含包装） | |
