MET ONE 3411 便携式空气颗粒计数器适用于半导体洁净室监测、过程标记和颗粒故障排除等方面的应用。

MET ONE 3411 具有业界的 ISO 21501 数据准确性和再现性，是业内最洁净的 0.1um 便携式空气颗粒计数器。

可让您的洁净室保持洁净

0.1um级别的颗粒计数器能让排气扇点尘不染。

热插拔电池-确保仪器长时间连续运行

由于仪器使用的是热插拔电池，故无论仪器是充电还是断电、计数归零及采用备份电源时都无需停机。

测试向导（Test Wizard）能使您在组织洁净室时让合规性更容易得到保证

可在监控您的半导体生产环境时节省时间并消除错误。

顺序采样系统

可用 MET ONE 3432 型顺序采样系统部署低成本的现场监控解决方案。用单台 MET ONE 3411 型空气颗粒计数器可依次从多达32个位置进行顺序采样。

灵活的通讯方式——设置简单，数据传输方便

供选择的无线，以太网和串口通讯可以将数据传输到METONE数据管理系统，或者客户已有监控软件，以便减少文书工作。

直观的用户界面

简便的区域，位置和运行参数的配置和复制，节约运行时间。只需将完整的配置拷贝到一个 U 盘中，从而消除参数设置错误，并节省时间。还可以在整个颗粒计数组部署采样计划！

符合ISO 21501-4 标准的可靠性和准确性

专用于满足特殊颗粒计数要求，仪器与仪器之间的准确度和再现性符合 ISO21501-4标准要求。