特点FEATURES

• 简洁的桌上型，移动推车或控制台架结构
• Direct re-entrant流孔板，差式泵，以达到宜的灵敏度
• 连续取样从10-4mbar至1mbar.
• 高灵敏度（可至5ppb），质量数可选至1000amu
• 软离子化技术，分析复杂有机物，或表观MS研究
• 稳定性好(24h之上，峰高变化小于±0.5%)
• MASsoft软件控制，或由局域网进行多个系统控制
• 气动阀自动控制；出现电力不足或压力过大等不安全状况时可启用手动隔离装置
• 自动、同时数据取得、分析，实时显示、报警

应用APPLICATIONS

• CVD / PECVD / RIE / LPCVD / MOCVD
• 真空涂覆/ 等离子刻蚀
• 沉积溅射
• 污染物研究
• 基本压力辨别
• 泄漏探测/ 实质泄漏/脱附分析
• 除气/烘烤/泵效能
• 反应室/过程气体污染物

规格参数SPECIFICATION

HPR-30真空过程气体分析系统(Process Gas Analyser)，适用于监测分析残余气体和真空工艺过程中的气体组成及变化。