针对多物理场微纳米压痕测试技术研究现状和存在问题，开发生产了多物理场微纳米压痕测试仪，如图1所示。多物理场微纳米压痕测试曲线如图2所示。

图1 多物理场微纳米压痕测试仪

应用

• 金属材料、合金材料

• 陶瓷材料

• 聚合物材料

• 生物材料

• 仿生组织

• 复合材料

• 玻璃

• 半导体器件、薄膜

• 硬质涂层等等材料

• 多物理场微纳米压痕测试仪，为材料制备、生命科学、航空航天和星际探索提供精准技术支撑

• 研制了结构紧凑的多物理场微纳米压痕测试仪,适用于传统压痕测试以及多物理场测试

• 压电致动器作为压痕测试的精密驱动加载，可大行程压痕驱动

• 配备控制主机，专用检测控制系统与配套分析处理软件，软件功能强大，包括实时显示测试过程中位移和载荷信号变化并能够从中提取信号波动大小、显示生成实验曲线等功能

• DCYH型纳米压痕仪采用压电致动器的载荷装置，从而保证测量的精确度

• 压痕测试模块具有很好的重复性和良好的测试精度

• 电、磁多场耦合加载

(a) 电+磁试验曲线

                               (b) 电场试验曲线                                     (c) 磁场试验曲线

图2 多物理场微纳米压痕测试曲线

    如图2（a）所示，对La0.7Sr0.3MnO3、0.33PIN、0.35PMN、0.32PT四种材料进行外加电场、磁场的压痕测试，结果发现：外加电场与磁场均会显著导致材料的接触刚度增加。
    如图2（b）所示，正向电场与负向电场均对PMN-PT材料的压痕曲线有所影响，结果表现：材料的弹性性能与塑性性能均随着外加电场的影响而有所变化。
    如图2（c）所示，单晶镍材料在外加2000Oe磁场的环境下，压痕平均增加2.67%，残余压深平均增加4.14%，结果表现：可得材料的弹性模量增加31.36%，硬度减小6.77%。