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PTS201薄膜压力传感器特性与应用:薄膜压力敏感元件。采用离子束溅射技术直接淀积在17-4PH弹性元件上(SiO2保护层、NiCr合金电阻层、Au焊盘,总厚度小于4um),刻蚀形成金属应变电阻,实现敏感元件无机的一体化,克服了有机胶带来的蠕变、滞后和老化现象,大大提高了产品的精度和长期稳定性,可长期在-40~150℃工作温度下稳定工作。
长期稳定性好,工作温度范围宽,温漂小,抗振动,抗冲击;不锈钢结构,激光焊接,外形尺寸小,结构紧凑;适用石油测井、内燃机、装载机、试验机等高温高压恶劣环境的测量。
主要技术参数
产品尺寸图