汽车减震器装配单元
汽车减震器装配单元是用于完成汽车减震器装配弹簧下座，贮液筒端盖等零部件的压力装配。 参考价面议
大气机械手Blade-D156
高洁净等级，高速传片，碰撞保护，Mapping，SEMI认证S2，F47，迎合个性化设计手指及接口用户可定制。 参考价面议
真空机械手PHOENIX-B系列
直驱电机结构，全新的IO模块，具有*的防碰撞保护功能及输入信号支硬件中断功能，通过SEMI认证。满足个性化设计支持用户定制，手臂长度可选，可为客户提供接口及末端定制服务。 参考价面议
Mask Stocker
Mask case STK，高洁净度，非接触供电，SEMI软件接口，动态纠偏和碰撞保护功能，高可靠性，设备可定制 参考价面议
复合机器人C-20 I/II
车载电池供电，安全性高、能耗低，激光轮廓导航、百级洁净设计、能满足Cassette, CST, MGZ, Tray，BOX多种载具的搬运、传输、非接触式防碰装安全保护、无线局域网通讯 参考价面议
G4.5 FPD Robot
高洁净等级，高速传片，抗干扰，GLASS自动纠偏，提供接口及末端定制，迎合个性化设计手指及接口，用户可定制。 参考价面议
TTS-3000 EFEM（3工位EFEM）
一体化程度高，自动化程度高，安全区保护,SEMI认证S2、F47,网络化控制器,接口可用户定制。 参考价面议
真空机械手PHOENIX-S25
直驱电机结构，全新的IO模块，具有*的防碰撞保护功能及输入信号支硬件中断功能，拥有SEMI认证。满足个性化设计支持用户定制，手臂长度可选，可为客户提供接口及末端定制服务。 参考价面议
真空机械手Titan1500C
采用磁流体密封技术，网络化控制系统，具有*的防碰撞保护功能及动态纠偏功能，通过SEMI认证，MCBF大于1000万次，同时具备超高洁净度，耐高温、耐腐蚀，负载能力强等特点。满足个性化设计支持用户定制，负载、手臂长度可选，可为客户提供接口及末端定制服务。是大负载真空机械手的*之选。 参考价面议
真空传输平台DIAGRAM 600
一体化程度高，自动化程度高，拥有新松自主研发的真空机械手，真空预对准装置及晶圆盒真空升降传输装置，带有迎合个性化设计的用户可定制端口； 参考价面议
IC STOCKER
FOUP STK，高洁净度，电缆供电，低噪音，行走免润滑，SEMI软件接口，碰撞保护功能，MCBF50000次，Automatic teaching,设备可定制 参考价面议
TTS-2000 EFEM（两工位EFEM）
一体化程度高，自动化程度高，安全区保护,SEMI认证S2、F47,网络化控制器,接口可用户定制，拥有新松自主研发的控制器，Aligner，方便在视窗观察的可拆卸单元门，易移动框架，带有隔离的风扇过滤系统，可拆分的设备结构，从而保证设备洁净、可靠的运行。 参考价面议

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