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机械手本体采用多电机同轴结构，动作更加灵活稳定；高重复定位精度，并具备AWC自动纠偏功能，保证传片精度；耐真空性，可胜任高真空环境下晶圆传片需求。直驱电机结构具有更高的真空特性，内部结构没有齿轮，皮带等部件，系统运行的平稳性更好，可靠性更高。IO模块具有更多的输出输入引脚，用户可以根据需求配置成互锁、传感器检测等功能。输入信号支持硬件中断功能，方便客户配置AWC等位置锁存功能应用。带有安全区配置功能和灵敏的碰撞保护功能，减少用户误操作导致的各种损失。带有大屏幕机器人示教器，方便调试人员使用，并支持热插拔功能。在此基础上，Archer Q41采用双手蝴蝶手形式，四手指结构，双取双放，大大提高了晶圆传片效率。Archer Q41/R41可以根据客户应用的特殊要求，定制手臂尺寸，Z轴行程，耐高温耐腐蚀特性等。
参数：
本体重量Body Weight | 90KG |
适用晶圆尺寸Wafer Size | 300mm/200mm |
负载Payload | 1KG |
电源输入Power Supply | AC电压:208V AC频率：50HZ/60HZ |
电源范围 电压波动范围 | 单相交流208V +10%，-15% |
节拍Bear | 8.5s(Pick,Rotate180°,Place,根据手指材料，传输位置不同相关) |
动态偏差纠正精度(AWC) | ±0.1mm |
运动范围 Range | R：994mm |
T：＞360° | |
Z：135mm | |
重复定位精度Repeatability | Z: ±0.05mm（3σ） |
T: ±0.003°（3σ） | |
R: ±0.05mm（3σ） | |
漏率Leak rate | < 5 x 10-9 std. cc/sec He |
真空度Base Pressure | 3X10-8Torr |
适用温度 Applicable temperature | 法兰:<90℃;本体:<50℃;手臂:<90℃ |
洁净度Clean Class | ISO CLASS1 |
MCBF | >12.8million cycles |
通信接口Communications | Ethernet/串口serial interface |
IO互锁IO interlock | 支持Support |
