MPG40x 大气压至超高真空真空计

MPG40x 大气压至超高真空真空计

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2024-02-02 07:49:24
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英福康(广州)真空仪器有限公司

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产品简介

MPG40x 大气压至超高真空真空计

详细介绍

好处

  • Direct replacement for PTR 90 Vacuum Transmitters
  • 复合真空计 – 倒置磁控管与皮拉尼
  • 测量范围广,从 5 x 10-9 毫巴到大气压
  • 不会出现单丝烧毁的现象
  • 的点火属性
  • 易于清洁
  • FPM 或金属密封馈入装置
  • 高压 LED 指示灯
  • 对数模拟输出信号

典型应用

  • 高真空压力监控
  • 蒸发系统和溅射系统的基本压力
  • 中高真空范围内的一般真空测量和控制

新闻

MAG400 series is direct replacement for PTR 90 Vacuum Transmitters

规格

类型 MPG400 FPM sealed
精度 (N2)  
1 x 10-8 … 100 毫巴 % of reading ≈±30%
可重复性  
1 x 10-8 … 100 毫巴 % of reading ≈±5%
安装定位 any
容许压力 bar (absolute) ≤10 (limited to inert gases)
容许温度  
运行(环境) °C +5 … +55
贮存 °C –40 … +65
烘烤 (1) °C 150
单丝温度(皮拉尼) °C 120
电源电压  
真空计上 V (dc) +15 … +30
缆线最长的电源装置 (2) V (dc) +16 … +30
波纹 V (p-p) ≤1
功耗 W ≤2
可连接的保险丝 AT ≤1
输出信号(测量信号)  
电压范围 V 0 … +10.5
测量范围 V +1.82 … +8.6
电压与压强 logarithmic, 0.6 volts per decade
错误信号  
无电源 V <>
皮拉尼传感器,单丝断裂 V >9.5
输出电阻 2 x 10
最小负载电阻 kΩ 10, short-circuit proof
反应时间  
p > 10-6 毫巴 ms <>
p = 10-8 毫巴 ms ≈1000
识别真空计 85, referenced to supply common
状态  
仅皮拉尼模式 V 0 (low)
复合皮拉尼 / 冷阴极模式 V 15 … 30 (high)
LED LED green high voltage on
电气连接 FCC 68 appliance connector, 8 poles, female
传感器电缆 8 poles plus shielding
电缆长度 m ≤50 (8 x 0.14 mm2)
运行电压 kV ≤3.3
运行电流 µA ≤500
暴露于真空的材料 stainless steel, Al2O3, FPM75, Mo, Ni, Au, W
内部容积 cm³ ≈20
重量  
DN 25 ISO-KF g ≈700
DN 40 ISO-KF g ≈720
DN 40 CF-F g ≈980
保护类别 IP 40
标准  
CE 合规 EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1

1) 没有电子和磁遮蔽。

2) 必须根据传感器电缆的长度按比例增加电源的电压。

零件号

MPG400 FPM sealed
零件号 明细
351-010 MPG400 真空计
351-011 MPG400 DN 40 ISO-KF
351-012 MPG400 DN 40 CF-F
351-998 维修包
351-995 起辉器
351-994 MPG40X 点火单元
351-999 维修保养套件
211-113 中心圈 with baffle DN 25 KF

附件

MPG400 FPM sealed
零件号 明细
351-023 磁屏蔽

数据表

手册

目录

三维步骤文件

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