BCG450 大气压至超高真空三合一真空计-英福康（广州）真空仪器有限公司手机版

详细介绍

好处

BCG450 可节省成本和工具空间，降低真空测量仪器的安装与设置的复杂性
压力超过 10 Torr 时压力测量不受气体类型限制，可以为任何气体混合物提供更为可靠的预抽真空室控制
皮拉尼联锁保护丝极，防止过早烧毁
高真空皮拉尼自动调节，减少操作员的干预
大气气压下压差测量消除了大气压力变化引起的不确定性
传感元件带有板载校准数据，易于更换，可保证再现性
备有可选的图形显示器和现场总线接口
符合 RoHS 标准

典型应用

对半导体过程和预抽真空室的压力测量
工业镀膜
在低至超高真空范围中系统的一般真空测量和控制

新闻

新！现在提供 ProfiNET 数字接口！

规格

类型		BCG450
测量范围		5×10^-10 … 1500
精度
10^-8 … 50 毫巴	% of reading	±15
50 … 950 毫巴	% of reading	±5
950 … 1050 毫巴	% of reading	±2.5
可重复性
10^-8 … 10^-2 毫巴	% of reading	5
热离子发射	mbar	2×10^-2 (high)
（可选高/低，通过 RS232 / 现场总线）	mbar	8×10^-3 (low)
除气 (1)
p < 7.2="" ×="">^-6	mbar	electron bombardment, max. 3 min
压力，	bar (absolute)	5
温度
运行（环境）	°C	0 … +50
贮存	°C	-20 … +70
在法兰处烘烤	°C	80
移除烘烤电子设备	°C	150
电源电压		20 … 28
输出信号模拟
输出信号	V	0 … 10.3
测量范围输出	V	0.774 … 10.3
电压与压强之间的关系	volts per decade	0.75
错误信号	V	0.3 / 0.5
最小负载	kΩ	10
接口（数字）(2)		RS232C
连接器		D-Sub, 15-pin, male
电缆长度， (3)	m (ft.)	100 (330)
暴露于真空的材料		Yt₂O₃, Ir, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, AI₂O₃, SnAg, stainless steel, glass
内部容积 KF / CF	cm³ (in.³)	24 (1.46) / 34 (2.1)
重量 KF / CF	g	285 / 550
保护等级		IP30
DeviceNet™
协议		DeviceNet™, group 2 slave only
数据率开关	kBaud	125, 250, 500 or network programmable
电缆长度 125 kbps	m (ft.)	500 (1650)
电缆长度 250 kbps	m (ft.)	250 (825)
电缆长度 500 kbps	m (ft.)	100 (330)
MAC ID		2 switches (address 00 - 63) or network programmable
网络规模		up to 64 nodes per segment
数字功能		read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
模拟功能		0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
可视通信指示器		LED network status (green / red) ; LED module status (green / red)
技术规格		DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"
设备类型		''CG'' for combination gauge
I / O 从属传讯		polling only
设定点继电器：设定点数量		2
设定点继电器：范围	mbar	1×10^-9 … 1400
设定点继电器：继电器触点		n.o., potential free
设定点继电器：滞后	% of reading	10
设定点继电器：触点额定值		60
设定点继电器：连接器		D-Sub, 15-pin, male
DeviceNet™ 电源电压		11 … 25
真空计电源电压		20 … 28
DeviceNet™ 连接器		Microstyle, 5-pin
BCG（模拟输出、电源电压、设定点）连接器		D-Sub, 15-pin, male
Profibus DP
波特率		9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
地址		2 switches (address 00 - 127) or network programmable
数字功能		read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
模拟功能		0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
设定点继电器：设定点数量		2
设定点继电器：范围	mbar	1×10^-9 … 1400
设定点继电器：继电器触点		n.o., potential free
设定点继电器：滞后	% of reading	10
设定点继电器：触点额定值		60
Profibus DP 连接器		D-Sub, 9-pin, female
BCG（模拟输出、电源电压、设定点）连接器		D-Sub, 15-pin, male
以太网
以太网协议		protocol specialized for EtherCAT
通讯标准		ETG.5003.1 S (R) V1.1.0: Part 1 Common Device Profile (CDP)ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0: Part 2080: Specific Device Profile (SDP) Vacuum Pressure Gauge
节点地址		Explicit Device Identification
物理层		100BASE-Tx (IEEE 802.3)
以太网数字功能		read pressure, select units: Torr, mbar, Pa emission control, degas function monitor gauge status, filament status safe state allows definition of behavior in case of error detailed alarm and warning information
过程数据		Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping
邮箱 (CoE)		SDO requests, responses and information
以太网连接件		RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
电缆		shielded Ethernet CAT5e or higher
电缆长度	m (ft.)	≤100 (330)
Profinet
Communication protocol		protocol specalized for Profinet
Data rate		100 Mbps
Physical layer		100BASE-Tx (IEEE 802.3)
Digital functions Profinet		read pressure, select Units (Torr, mbar, Pa), emisson control, degas function, monitor gauge status, filament status
Analog function		10 … 10 V anlog output pressure indication
Profinet connector		2 x RJ45, 8-pin (socket), input & output
Profinet Cable		Special Ethernet Patch Cable or Crossover Cable, shielded (CAT5e quality or higher)
Cable lenght		<100 m (330 ft)
Cyclic data		IO-data
Mailbox (CoE) Profinet		configuration, responses and information

1）除气期间准确性降低

2）不可同时使用 RS232C 或 VGC40x 系列控制器和现场总线

3）RS232C 操作 <>

零件号

BCG450
零件号	明细
353-550	BCG450 规管
353-551	BCG450 TripleGauge; DN 40 CF-R
353-552	BCG450 规管
353-553	BCG450 TripleGauge; DN 40 CF-R
353-554	BCG450-SP TripleGauge; DN 25 ISO-KF
353-556	BCG450-SP TripleGauge; DN 40 CF-R
353-557	BCG450-SD TripleGauge; DN 25 ISO-KF
353-558	BCG450-SD TripleGauge; DN 40 CF-R.
353-592	BCG450-SE ECAT, DN 25 ISO-KF
353-593	BCG450-SE ECAT, DN 40 CF-R
353-598	BCG450-SE ECAT, DN 25 ISO-KF
353-599	BCG450-SE ECAT, DN 40 CF-R
353-517	BCG450-PN Profinet, DN 25 ISO-KF
353-518	BCG450-PN Profinet, DN 40 CF-R
354-492	BCG450 传感器
354-493	BCG450 Spare measurement systemDN40CF-R.
353-606	BCG450 TripleGauge; W, DN 40 CF-R

附件

BCG450
零件号	明细
353-511	BPG400 24V电源


353-512	Baffle for BPG400

211-113	中心圈 with baffle DN 25 KF

备件

BCG450
零件号	明细
354-492	BCG450 传感器
354-493	BCG450 Spare measurement systemDN40CF-R.

数据表

手册

三维步骤文件

其他文件

产品简介

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