本多W-357BM-1200超声波清洗机[用于半导体行业

本多W-357BM-1200超声波清洗机[用于半导体行业

特征

• 通过数字控制可以实现稳定的振荡。

• 通过各种接口，可以根据清洁设备进行控制。
  

• 超声波输出可以1W为增量进行调节。

用途：

• 磁头清洁

• 硅片清洗
  

• 蓝宝石晶圆清洗

• 处理半导体器件后的清洁

• 硬盘清洁

振荡器

模型		W-357BM-1200
振荡方式		单频振荡
额定输出		1200瓦
标称振荡频率		1兆赫
电源输入		AC200V〜240V  单相50 / 60Hz的2400VA
显示		VFD（荧光显像管）16个字符x 2行
国米 的脸	模拟量输出	4-20mA电流输出
	接点输出	3点报警输出，振动检测输出，电源接通输出
	外置驱动器输入	2点传感器输入，远程输入
	RS485通讯	MODBUS（RTU）协议
外形尺寸		360（W）x 360（D）x 143（H）毫米　 （不包括突起，包括橡胶底脚）
大众		7公斤

●可变输出范围：200W至1200W 
●电源线长度：3m 

　需要高频设备许可申请通知

换能器单元

根据要求，我们还可生产规格为2.4 kW和3.6 kW的定制振荡器单元，以及6英寸，8英寸和12英寸兼容单元。

F型｜

8寸晶片用振动板型　　　　　

模型	W-357BM-1200F
振荡器型号	W-357BM-1200
允许输入	1200瓦
标称驱动频率	1兆赫
有效辐射面W x Dmm	272x154
外形尺寸 WxDxHmm （不包括 接线和管道）	355x245x68
材料	板：SUS316L表面电解抛光
大众	7公斤

●工作液温度范围：5到85℃ 
●铣削机：特殊PZT 
●机械手线长：5m x 2 

S型｜

6英寸晶圆的槽型x 2

模型		W-357BM-1200S
振荡器型号		W-357BM-1200
允许输入		1200瓦
标称驱动频率		1兆赫
有效辐射面W x Dmm		135x160 2个地方
尺寸  WxDxHmm  （不包括突起）	外型	496x336x372 （包括橡胶脚）
	在坦克	442x276x252
材料		储罐：SUS316包装：拜顿
排水阀		1/2英寸
大众		18公斤

●工作液温度范围：5到85℃ 
●传感器：特殊PZT 
●传感器线长：5m x 2