![[field:title /]](https://img62.afzhan.com/5eceadd4559dcfd29292e7abdb8cc71b9f95b571f78c9c37ab003ea3b8882c6d299acc3e11eee392.jpg)
等离子废气处理设备中的低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，当外加电压达到气体的放电电压时，气体被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体。低温等离子体降解污染物是利用这些电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。
DBD等离子体反应区富含的物质，如电子、离子、自由基和激发态分子等，废气中的污染物质可与这些具有较量的物质发生反应，使污染物质在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到讲解污染物的目的。与传统的电晕放电形势产生的低温等离子技术相比较，DBD等离子体技术放电量是电晕放电的50倍，放电密度是电晕放电的130倍。所以,传统低温等离子体技术只能用于室内空气异味治理，与其他低温等离子体技术相比较，DBD等离子体技术是用于工业化工艺废气治理的技术。低温等离子废气处理设备已经还广泛的应用于环境保护、包装、纺织、塑料制品、汽车制造、电子设备制造、家电制造、计算机制造、手机制造、生物材料、卫生材料、医疗器皿、杀菌消毒、环保设备、石油气管道、供暖管道、化工子、半导体、航空航天等行业中。
等离子体去除污染物的基本过程
过程一：电子的直接轰击
过程二：O原子或臭氧的氧化
O2+e→2O
过程三：OH自由基的氧化
H2O+e→OH+H
H2O+O→2OH
H+O2→OH+O
过程四：分子碎片+氧气的反应
