等离子废气净化器利用 高臭氧UV紫外线光束分解空气中的氧分子产生游离氧，即活性氧，因游离氧所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而产生臭氧。

等离子废气净化器的净化步骤：

⒈利用等离子废气净化器里面UV灯管与气体的结合，进行废气处理，催化反应才能进行。因此对于低 于起燃温度的进气，须进行预热使其达到起燃温度。对冷时气须进行预热，因此打开等离子废气净化器以后，要过一段时间进行废气处理，适于连续排气的净化，若废气为间歇排放，每次可把等离子废气净化器分段开关，预热器的频繁启动，使能耗增加。气体的预热达到 程度，等离子废气净化器就自动停止工作。自然排放。

⒉废气进入等离子废气净化器反应放出大量的反应热，因此气温度很高。一般先通过换热器将高温尾气与低温气体进行热量交换以减少预热能耗， 剩余热量可采用其他方式进行，在生产装置排出的废气温度较高的场合，如漆包线、绝缘材料等烘干温度可达300度以上，气体经过高温以后分解高空排放。

⒊进入等离子废气净化器的气体要经过预处理，除去粉尘、液滴及组分，避免催化床层的堵塞和催化剂的中毒。